На лінії з використанням технології EUV процес висушування фоторезисту – це не просто термічна операція, яку потрібно пройти. Саме на цьому етапі визначається контроль ширини ліній та рівень дефектів у готових продуктах. Навіть незначні зміни температури – на кілька десятих градуса – можуть призвести до того, що однорідність параметрів продукту буде порушена, і багато пластин стануть непридатними для подальшої обробки. Ми розробили спеціальні елементи нагріву для фоторезисту, які допомагають усунути таку невизначеність.
Що насправді має значення? Система використовує інфрачервоні випромінювачі короткої та середньої довжини хвилі, які підбираються так, щоб вони відповідали характеристикам поглинання світла фоторезистом. Це дозволяє зберігати стабільність температурного профілю по всій поверхні пластини. Однорідність температури становить ±0,1°C у активній зоні, а повторюваність результатів є високою. Компоненти системи виготовлені з кварцу та галогенів; вони функціонують без жодних забруднень у умовах чистої кімнати класу 1–100. Це забезпечує стабільну продуктивність протягом 24/7 без неспланованих перерв через несправності нагрівачів.
На лінії з використанням технології EUV процеси м’якого та жорсткого висушування фоторезисту, а також теплове зчеплення з поверхнею пластини – усе це впливає на однорідність температури на рівні окремої пластини. Строгий контроль температури скорочує час підготовки продукції, зменшує кількість бракованих виробів та економить енергію. Результатом є стабільні параметри продукції та процес, який не створює проблем під час виробництва.
Кілька практичних порад: елементи нагріву підходять для основних платформ EUV, але їх інтеграція мусить враховувати геометрію камери та напрямок потоку повітря, щоб температурний профіль залишався стабільним. Потрібно планувати корекцію параметрів нагрівача при заміні елементів, а також дотримуватися графіка заміни елементів з урахуванням кількості годин роботи та температурних умов. Температурний режим слід розглядати як параметр, який потрібно контролювати, а не як щось, що можна просто прийняти як даність.