Khi làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS sau quá trình làm sạch hóa học, bạn cần có nhiệt độ cao để thực hiện việc này. Nhưng có một vấn đề: nếu bạn làm việc trong môi trường có khí dễ cháy hoặc nổ, thì các bóng đèn hồng ngoại thông thường không chỉ là công cụ hữu ích, mà còn là nguyên nhân gây ra nguy hiểm.
Không ai muốn xảy ra hỏa hoạn trong phòng thí nghiệm cả. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng phương pháp đặc biệt: chúng tôi sử dụng hệ thống bao bọc chuyên dụng, giúp đưa bộ phận tạo nhiệt vào một khu vực an toàn, tách biệt hoàn toàn khỏi không khí xung quanh.
Ngăn chặn các chất có hại
Chúng tôi bọc các ống hồng ngoại bằng lớp vật liệu chịu được tác động của hóa chất, được làm từ sapphire hoặc thạch anh chất lượng cao. Điều này giúp ngăn các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi tiếp xúc với các sợi dây tạo nhiệt. Ngay cả khi lớp bảo vệ bị hỏng, khí vẫn chỉ chạm vào khoang chứa khí, chứ không chạm vào các bộ phận tạo nhiệt. Để đảm bảo không có chất gì rò rỉ ra ngoài, chúng tôi sử dụng phương pháp hàn ở nhiệt độ cao hoặc các loại kết nối giữa thủy tinh và kim loại. Tất cả những điều này đều nhằm đảm bảo an toàn.
Kiểm soát nhiệt độ
Đây là phần khó nhất: các bóng đèn hồng ngoại có cường độ cao sẽ tỏa ra nhiệt lượng lớn. Nếu vỏ bọc bên ngoài quá nóng, nó có thể gây cháy các khí xung quanh. Để tránh điều này, chúng tôi thường sử dụng lớp vỏ kép chứa khí trơ hoặc chân không. Điều này giúp ánh sáng hồng ngoại đi qua để làm khô wafer, nhưng vẫn kiểm soát được nhiệt độ bề mặt bên ngoài.
Nhưng bạn cần tìm được sự cân bằng phù hợp. Nếu việc cách nhiệt quá mức, bên trong bóng đèn sẽ quá nóng. Nếu cường độ ánh sáng quá cao, các sợi dây tạo nhiệt sẽ bị cháy sớm hơn dự kiến.
Lắp đặt
Chúng tôi chế tạo các bộ phận gia nhiệt này để chúng có thể hoạt động liên tục mà không bị hỏng. Ngay cả các khung đỡ cũng được làm từ vật liệu không gây tia lửa, vì vậy bạn không cần lo lắng về việc xảy ra tia lửa trong quá trình lắp đặt.
Một điều cuối cùng: hãy kiểm tra đường dây điện của bạn. Hãy đảm bảo rằng đường dây đó có khả năng chịu được nhiệt độ cao. Nếu không, lớp cách nhiệt sẽ bị hỏng, và mọi thứ sẽ trở lại vạch xuất phát.