Giữ cho các tấm wafer luôn sạch sẽ: Sự thật về việc sử dụng công nghệ làm nóng bằng tia hồng ngoại
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rõ những khó khăn mà nó mang lại. Chỉ cần có một hạt bụi nhỏ, hoặc một chất khí nào đó rò rỉ ra từ các linh kiện, thì toàn bộ lô sản phẩm của bạn sẽ trở thành rác thải.
Khi làm nóng các tấm wafer silic, bạn không thể sử dụng bất kỳ loại bóng đèn nào cả. Đó là lý do tại sao chúng tôi chỉ sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao để chế tạo các bóng đèn tia hồng ngoại. Đây là cách duy nhất để đảm bảo rằng không có bất kỳ chất gì rơi xuống bề mặt wafer trong quá trình làm việc.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Thực ra, thạch anh thông thường không hề “tinh khiết” đâu. Nó chứa nhiều tạp chất, và những tạp chất này sẽ bị bay hơi khi nhiệt độ tăng lên. Điều này có thể gây ra những hậu quả nghiêm trọng trong quá trình sản xuất.
Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao để ngăn chặn hiện tượng này. Hãy coi ống thạch anh như một bong bóng được đóng kín bằng chân không. Nhờ vậy, sợi wolfram bên trong được bảo vệ tốt, và không bị ảnh hưởng bởi không khí trong phòng sạch.
Làm thế nào để điều chỉnh nhiệt độ một cách chính xác?
Bạn cần đảm bảo rằng nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer là đồng đều. Không được có vùng nóng hay vùng lạnh nào cả.
Chúng tôi chọn loại bóng đèn tia hồng ngoại sóng ngắn. Nhờ đó, nhiệt lượng sẽ được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer, thay vì chỉ làm nóng các bức tường của buồng làm việc. Ngoài ra, nhờ việc sử dụng sợi wolfram có mật độ cao, các bóng đèn này sẽ phản ứng ngay lập tức khi bộ điều khiển PID điều chỉnh công suất.
Nhưng cần lưu ý rằng áp suất điện cũng rất quan trọng. Nếu bạn kết nối các bóng đèn này theo chuỗi dài, điện trở sẽ tăng lên, khiến một số phần của wafer bị lạnh hơn so với các phần khác. Tôi khuyên bạn nên sử dụng nguồn điện riêng cho từng bóng đèn. Đó là cách tốt nhất để đảm bảo công suất của từng bóng đèn luôn ổn định.
Thực tế khi lắp đặt các bóng đèn này
Các bóng đèn này được thiết kế để có thể được lắp đặt dễ dàng vào các thiết bị bán dẫn hiện có. Nhưng đừng quên vấn đề làm mát. Các bóng đèn này tạo ra rất nhiều nhiệt trong một không gian nhỏ. Nếu dòng khí lưu thông kém, nhiệt độ tại các đầu thạch anh sẽ tăng cao, gây hư hại cho chúng. Hãy đảm bảo rằng các kết nối luôn sạch sẽ, và mức chân không trong buồng làm việc luôn ở mức ổn định.