
为什么红外反射器对无铅固化工艺如此重要?
半导体行业正在努力朝着无铅、节能的方向发展。长期以来,我们一直依赖传统对流式烤箱来加热工件,但说实话,让整个空间里的空气都变热其实是一种极大的能源浪费。
因此,我们转而使用红外固化技术。这种技术可以直接作用于芯片表面。不过,这里有个问题:不能简单地把灯放进去就万事大吉了,还需要使用专用的反射器来帮助集中热量。
避免能量浪费
想象一下红外灯的工作原理——它向各个方向散发热量。如果没有反射器,这些热量的一半都会被用来加热机器的壁面,这显然是浪费。我们设计的反射器能够将这部分能量重新引导回芯片上,这样就不必再额外增加能量输入了。这样一来,加热速度会大大提升。而当温度能够更快达到所需水平时,整个加工周期也会随之缩短。
耐高温的材料
我们不会使用质量不佳的涂层材料。为了保持清洁并符合环保标准,我们使用高纯度的铝或镀金材质作为反射器基底。这类材料能够承受短波红外灯带来的巨大热量,而不会变形或损坏。我们追求的是“镜面反射”,也就是说,光线能像镜子一样反射回来。如果光线发生散射,就会产生热点,而热点则会导致芯片破裂。没人希望出现这种情况。
实际应用中的挑战
这并不是一种“插上去就能不管”的简单升级方案。使用高反射率表面时,大量热量会被集中在一处。如果冷却系统无法有效散热,那就会有问题。我们曾经见过因为设备周围热量过高而导致线路烧毁或装置变形的情况。因此,必须精确控制焦点与芯片之间的距离。
采用红外固化技术意味着可以不用化学溶剂,从而减少洁净室的碳足迹。这是最直接的方法,能让生产线更快达到无铅标准,同时也不必为设备问题而苦恼。