Na povrchu waferu stačí půl stupně odchylky při měkkém nebo tvrdém zahřívání k tomu, aby se změnily kritické rozměry, po leptání zůstaly nežádoucí rezidua a snížila se kvalita výrobku. Vytvořili jsme zásuvku pro infračervené lampy určené k použití s nástroji na zpracování waferů – takže teplotní podmínky zůstávají konstantní v každém cyklu.
To je to, co je důležité. Zásuvka je spojena s NIR kvartovými lampami, které přenášejí teplo přímo do oblasti waferu – rychle a přímo. V celé oblasti zahřívání zůstává jednotnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, takže fotoresistent má stabilní teplotu bez vzniku „horkých míst“.
Zásuvka splňuje požadavky čistých prostor třídy 1–100 – částice zůstávají pod kontrolou: nic se neuvolňuje v horké oblasti, spoje jsou hermeticky uzavřené a keramické tělo neopraskává. Elektrický rozhraní je navrženo pro vysoký průtok proudu a nízký odpor kontaktů, takže výkon lampy zůstává stabilní i při nepřetržitém provozu 24/7.
Výstupní hodnota zůstává konstantní po dobu 5 000 hodin a klesá o méně než 5 %. To znamená, že teplotní podmínky v procesu litografie – a také v následujících krocích leptání – se nezmění.
V litografii zásuvka zajišťuje správné podmínky při měkkém zahřívání – rozpouštědla odcházejí bez poškození fotoresistenční vrstvy. Při tvrdém zahřívání poskytuje přesnou teplotní hodnotu potřebnou pro lepší adhezi a odolnost proti leptání, čímž se snižuje nerovnost povrchu waferu.
Opakovatelnost mezi jednotlivými wafery znamená méně oprav, méně odpadu a možnost plánování času potřebného na zpracování. Spotřeba energie také klesá – lampa se ohřívá pouze tehdy, když je to potřeba, rychle dosahuje požadované teploty a ztráty v režimu čekání jsou minimální.
Několik praktických poznámek: Zásuvka vyžaduje odpovídající lampu a správné umístění v nástroji – proto před instalací zkontrolujte napětí, proud a mechanický odstup.
U velmi tenkých vrstev fotoresistentu se projevují velmi malé teplotní odchylky – dokonce i malá nadměrná teplota může mít vliv na proces. V prostředích s vysokou vlhkostí je nutné pravidelně provádět preventivní kontroly, aby byla zachována integrita konektorů a stabilní teplotní kontakt.