کاهش میزان کربن در خطوط شستشوی نیمههادیها (بدون مشکلات اضافی)
بیایید صادق باشیم: مراحل شستشو و خشککردن در کارخانههای تولید نیمههادی، منابع انرژی زیادی را مصرف میکنند. در این مراحل، مقدار زیادی انرژی هدر میرود. ما زمان زیادی را صرف یافتن راهحلی برای حل این مشکل کردهایم؛ پاسخ، استفاده از لامپهای مادون قرمز بود.
این لامپها به طور ویژه برای محیطهای مرطوب و شرجی ساخته شدهاند؛ جایی که دستگاههای عادی دیگر کار نمیکنند.
خاتمه دادن به گرم کردن هوا
مشکل فرآیندهای گرمایشی سنتی این است که سعی میکنند همه چیز را گرم کنند؛ در نتیجه، انرژی زیادی برای گرم کردن کل محفظه صرف میشود. این روش کارایی ندارد.
لامپهای مادون قرمز به شکل متفاوتی کار میکنند؛ آنها از تشعشعات موج کوتاه برای گرم کردن سطح ویفر استفاده میکنند. در نتیجه، دیگر نیازی به مقابله با حرارت کل سیستم نیست؛ این کار باعث کاهش مصرف انرژی میشود. همچنین، سرعت عملکرد سیستم افزایش مییابد و انرژی اضافی در حالت استراحت سیستم مصرف نمیشود.
مقابله با رطوبت
اگر از لولههای کوارتز معمولی در مراحل شستشو استفاده کنید، آنها خراب خواهند شد؛ رطوبت بسیار زیاد است.
به همین دلیل، ما این دستگاهها را به خوبی بستهبندی میکنیم؛ همچنین از کوارتز با خلوص بالا و مواد ضدآب برای جلوگیری از ورود رطوبت استفاده میکنیم.
اما باید مراقب باشید؛ باید میزان انرژی تولید شده توسط لامپها را کنترل کنید. لامپهای مادون قرمز مقدار زیادی گرما تولید میکنند؛ اگر سیستم تخلیه حرارت شما به اندازه کافی قوی نباشد، سنسورها و ابزارهای شما خراب خواهند شد. تعادل در این مورد بسیار مهم است.
کاربرد لامپهای مادون قرمز در کارخانههای سبز
وقتی مردم درباره «کارخانههای سبز» صحبت میکنند، اغلب این موضوع مانند یک تبلیغ به نظر میرسد؛ اما در واقع، موضوع اصلی، کارایی است.
یکی از مزایای لامپهای مادون قرمز این است که کار آنها بسیار سریع است؛ نیازی به انتظار نیست. در نتیجه، انرژی زیادی در زمان حمل و نقل ویفرها هدر نمیرود.
بزرگترین فواید این روش، زمانی مشهود میشود که مهندسان از گرمکنهای قدیمی و سنگین استفاده نکنند و به جای آن از لامپهای مادون قرمز استفاده کنند. در این صورت، میتوانید دقیقاً تعیین کنید که حرارت به کجا میرود. این کار باعث کاهش مصرف انرژی برای هر ویفر میشود؛ که به دستیابی به اهداف کاهش کربن کمک میکند… بدون اینکه سرعت عملکرد سیستم کاهش یابد.