در فرآیند لیتوگرافی، شما میدانید که حتی نیم درجه تغییر در دمای پخت، میتواند باعث اختلال در کیفیت فیلم حساس به نور شود. کنترل عرض خطوط، چسبندگی و تراکم نقصها، همگی به کنترل دقیق دما بستگی دارند. ما لامپهای مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که این کنترل دما را تضمین کنند.
مفهوم فنی این دستگاه ساده است؛ امواج مادون قرمز کوتاه، مستقیماً به ویفر برخورد کرده، دمای آن را به سرعت افزایش میدهند و یکنواختی دما را حفظ میکنند. ما از فرستندههای هالوژنی کوارتزی استفاده کردهایم که برای افزایش سریع دما و حفظ یکنواختی دما، مناسب هستند؛ در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. فرآیندهای پخت نرم و سخت نیز با کنترل دمای دقیق انجام میشوند؛ بنابراین ابعاد حیاتی ویفر در هر بار تولید، در محدوده مشخص شده باقی میمانند.
سازگاری این دستگاه با محیطهای تمیز نیز در نظر گرفته شده است؛ موادی که گاز کمی تولید میکنند، مونتاژهای بسته، و عدم تولید ذرات، باعث میشود تعداد ذرات در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، در محدوده مشخص شده باقی بماند. این دستگاهها برای کار ۲۴ ساعته طراحی شدهاند و میتوانند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کیفیت تولید کاهش یابد.
دلیل اهمیت این موضوع این است که بازدهی و کیفیت تولید، به یکنواختی دما بستگی دارد. با کنترل دقیق دما، میتوان از بازسازی فیلم حساس به نور جلوگیری کرد و از از بین رفتن ویفرها به دلیل عدم یکنواختی دما، جلوگیری کرد. پاسخ سریع دما، زمان پردازش را کاهش میدهد، بدون اینکه کنترل از دست برود؛ همچنین، خروجی پایدار، از هدررفت انرژی جلوگیری میکند. در عمل، میتوانید توزیع بهتری از ابعاد ویفرها، کمترین تعداد نقصها، و زمانهای تعمیراتی قابل پیشبینی را مشاهده کنید.
نکته مهمی که باید در نظر گرفت این است که لامپهای مادون قرمز نیاز به فاصله دقیق مونتاژ و همگرایی خطوط دید دارند تا یکنواختی دما حفظ شود. باید از ابزارهای مناسب برای اتصال لامپها استفاده کرد و همچنین، اتصال حرارتی با صفحه گرمکن یا مرحله پخت را بررسی کرد. همچنین، باید از قبل ولتاژ و سازگاری کانکتورها را بررسی کرد تا در صحنه کار، مشکلی پیش نیاید. با انجام این کارها، سیستم به درستی کار خواهد کرد؛ یعنی یکنواخت، قابل تکرار و تحت کنترل خواهد بود.