دیگر نیازی نیست دیوارههای ابزارهای شما را گرم کنید؛ بهتر است سطح ویفرها را گرم کنید.
رساندن ویفرهای نیمههادی به دمای مناسب، کاری بسیار دقیق است. اما اگر از لامپهای مادون قرمز استاندارد استفاده کنید، در واقع در حال مبارزه با یک شرایط بیفایده هستید. این لامپها گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ بنابراین بخش زیادی از انرژی صرف گرم کردن دیوارههای داخلی ابزار میشود.
این کار، هدر دادن انرژی است. بدتر از آن این است که این ابزارها به یک رادیاتور عظیم تبدیل میشوند؛ این امر میتواند در حین تعمیرات، به اپراتور آسیب برساند. این وضعیت اصلاً مناسب نیست.
راهحل بسیار ساده است: دیگر نیازی نیست گرما را در تمام جهات پخش کنید؛ بهتر است گرما را به سمت دقیقی هدایت کنید. ما از روش گرمایش مادون قرمز جهتدار برای حل این مشکل استفاده میکنیم.
نحوه کارکرد آن:
فکر کنید به یک لامپ کوارتز استاندارد؛ این لامپ مانند یک لامپ روشنایی عمل میکند و گرما را در یک دایره ۳۶۰ درجه پخش میکند. در ابزارهای مربوط به ویفرها، نیمی از این انرژی فقط به دیوارههای فلزی برخورد میکند.
ما از بازتابندهها و فیلترهای ویژه برای هدایت دقیق انرژی استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، انرژی دقیقاً به سمت سطح ویفر هدایت میشود. سرعت گرم شدن ویفر حفظ میشود، اما سایر بخشهای ابزار سرد باقی میمانند. دیگر نیازی نیست داخل ابزار را به یک فر تبدیل کنید.
مشکلات مربوط به تنظیمات:
این لامپها برای استفاده در فضاهای تنگ طراحی شدهاند، اما نمیتوان آنها را به سادگی نصب کرد. نقطه تمرکز انرژی بسیار مهم است؛ اگر لامپ حتی کمی از محور خود منحرف شود، مشکلاتی پیش خواهد آمد. در این صورت، نقاط سردی روی ویفر و نقاط گرمی روی دیوارهها ایجاد خواهد شد. این کار نیاز به دقت زیادی دارد.
همچنین، جریان هوا نیز مهم است؛ لامپهای قدرتمند، در واقع گرما تولید میکنند؛ اگر سیستم خنککنندگی داخلی ابزار به خوبی کار نکند، در نهایت اتصالات ابزار آسیب خواهند دید. بنابراین، باید تعادل مناسبی بین توان لامپ و فضای موجود برقرار کرد.
فواید برای تیم شما:
وقتی که دیگر گرما به داخل ابزار نفوذ نکند، همه چیز آسانتر خواهد شد. دیگر نیازی نیست برای حفظ ایمنی افراد، عایقهای ضخیمی روی تمام پانلهای داخلی ابزار قرار دهید.
این کار باعث میشود تعمیرات ابزار بسیار آسانتر شود؛ میتوانید درب ابزار را باز کنید و قطعات را عوض کنید، بدون اینکه مجبور باشید ساعتها منتظر بمانید تا فلزات به دمایی برسند که پوست انسان را آسیب نزند. این روش، روشی ایمنتر و سریعتر برای کار کردن است.