기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요.
드라이싱 챔버의 벽면을 만져보면 피부가 뜨거워지는 것을 느낄 수 있습니다. 이것이 바로 ‘열 축적’ 현상입니다.
대부분의 제조용 드라이싱 시스템은 열을 곳곳에 그냥 방출하기 때문에 이런 현상이 발생합니다. 에너지가 챔버 안으로 들어오지만, 그 열이 갈 곳이 없어서 내벽과 케이스가 스펀지처럼 그 열을 흡수하게 됩니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 해당 장비 주변에서 작업하는 사람들에게는 안전상의 위험도 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 방향성 적외선 가열입니다.
핵심은 에너지가 어디로 가는가 하는 점입니다.
방 안의 공기 전체를 가열하려는 대신, 방향성 적외선 램프는 전자기파를 이용해 웨이퍼 자체에 직접 열을 가합니다. 마치 손전등처럼 말입니다. 반사판과 특정 파장을 활용함으로써, 열이 정확히 필요한 곳, 즉 웨이퍼에만 집중됩니다.
그 결과? 부품들은 필요한 열을 받지만, 챔버의 벽면은 여전히 차갑게 유지됩니다.
안전하고 컴팩트한 설계
가장 강력한 램프를 사용할 수는 있지만, 그렇다고 해서 그냥 함부로 사용할 수는 없습니다. 에너지 밀도와 냉각 시스템을 잘 조절해야 합니다. 고출력 램프는 빠르게 온도를 높일 수 있지만, 전원 공급에 부담을 줄 수 있습니다.
우리는 ‘고온 구역’을 좁게 유지합니다. 열이 집중되기 때문에, 벽면에 두꺼운 단열재를 사용할 필요가 없습니다. 그래서 기계가 차지하는 공간도 줄어듭니다.
단점
물론 이건 마법의 지팡이는 아닙니다. 방향성 가열은 매우 섬세한 조작이 필요합니다. 램프의 위치가 몇 밀리미터만 잘못되어도 웨이퍼의 건조 상태가 고르지 않아집니다. 이를 해결하기 위해서는 램프를 고정하는 부품들이 매우 견고해야 합니다. 또한 클로즈드-루프 PID 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 온도가 급격하게 상승하는 것을 방지할 수 있습니다.
강철 판이나 공기를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 않으면 모든 것이 더 좋아집니다. 전기 요금도 줄어들고, 작업자들도 뜨거운 기계로부터 벗어날 필요가 없습니다.