화학적 세척 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요합니다. 하지만 빠르게 열을 공급해야 합니다. 다만 문제가 있습니다. 가연성이나 폭발성이 있는 증기가 주변에 있을 경우, 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 위험한 요소가 됩니다. 누구도 실험실에...

IR 램프가 웨이퍼를 망가뜨리는 것을 막으세요. 대량 생산 환경에서 IR 램프가 고장 나면 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 쿼츠 튜브가 파손되면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 하나의 고장 난 램프만으로도 몇 초 만에 전체 웨이...

에너지 낭비를 그만하세요: 금으로 된 반사판이 왜 중요한가? 솔직히 말해서, 반도체 제조 과정에서 에너지를 낭비하는 것은 단순히 비효율적인 것이 아니라, 설계상의 결함입니다. 대부분의 일반적인 적외선 히터들은 에너지를 사방으로 낭비합니다. 그 결과, 값비싼 에너지가...

도구의 내부 벽을 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열해 보세요. 반도체 웨이퍼의 온도를 적절하게 유지하는 것은 매우 정밀한 작업입니다. 하지만 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 사실상 실패할 수밖에 없습니다. 이러한 램프들은 열을 사방으로 방출하기 때문에,...

와펫을 항상 깨끗하게 유지하기 위한 방법: IR 가열의 진실 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 미세한 이물질, 혹은 부품에서 새어 나오는 기체만으로도 전체 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 실리콘...

왜 적외선 반사체가 무연 접착 공정에 있어서 그토록 중요한지 반도체 산업은 무연화 및 에너지 절약 기준을 향해 끊임없이 노력하고 있습니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서, 거대한 공간을 가열하는 것은 엄청난 에너지 낭비입니다. 그래서 우리...

웨이퍼 건조: 핵심은 바로 열 관리입니다. 웨이퍼 건조란 단순히 물체를 따뜻하게 하는 것이 아닙니다. 이는 완벽하고 일관된 열 제어가 필요합니다. 약간의 온도 변동만 있어도 웨이퍼에 오염이 생기거나 스트레스가 가해질 수 있습니다. 그래서 저희의 할로겐 히팅 램프는...

생산 라인에서는 300mm 웨이퍼에 수천 개의 칩들이 있으며, 이 칩들은 모두 온도 변화에 매우 민감합니다. 리소그래피 장비 내부에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 과정을 통해 치수 정확도를 유지합니다. 만약 적외선 소스가 일정한 온도를 유지하지 못한다면, 선의 굵기...

열 관리가 제대로 이루어지지 않으면, 유연한 기판과 박막층들은 매우 민감하게 반응합니다. 조금이라도 온도에 변동이 생기면, 중요한 치수들도 변하게 됩니다. 고온으로 가열하면, 겨우 유지해놓았던 포토레지스트의 형태가 무너지기 시작합니다. 불균일한 온도 분포는 청소나 건...

Role 한 개의 핫스폿이 Micro LED 에피웨이퍼 캐리어 전체를 망칠 수 있다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순히 화면상의 파라미터가 아니라, 깨끗한 패턴과 스크랩 로트의 경계선이다. 따라서 우리는 이러한 열 공정을 팹의 요구대로 실행할 수 있는 Micro...