반도체 레이저 다이오드 히터

리소그래피 작업장에서 상황은 익숙할 것입니다. 베이크 온도가 0.1°C만 변해도 포토레지스트 프로파일이 나노미터 단위로 이동하며, 이 미세한 변화가 수율 시트에 반영됩니다. 우리는 공정 창이 한 자릿수 나노미터 단위로 측정될 때에도 열 선을 안정적으로 유지할 수 있도...