화학적 세척 후에 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요합니다. 하지만 빠르게 열을 공급해야 합니다. 다만 문제가 있습니다. 가연성이나 폭발성이 있는 증기가 주변에 있을 경우, 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 위험한 요소가 됩니다. 누구도 실험실에...

도구의 내부 벽을 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열해 보세요. 반도체 웨이퍼의 온도를 적절하게 유지하는 것은 매우 정밀한 작업입니다. 하지만 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 사실상 실패할 수밖에 없습니다. 이러한 램프들은 열을 사방으로 방출하기 때문에,...

수소 센서를 제작할 때 가장 중요한 것은 바로 온도를 정확하게 조절하는 것입니다. 열 관리가 제대로 이루어지지 않으면 화학적 안정성이 떨어지고, 그 결과 센서의 정확도도 사라집니다. 우리는 극한의 환경에서도 견딜 수 있도록 특별히 설계된 가열기를 사용하지만, 솔직히...

와펫을 항상 깨끗하게 유지하기 위한 방법: IR 가열의 진실 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 미세한 이물질, 혹은 부품에서 새어 나오는 기체만으로도 전체 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 실리콘...

센서 포장 과정에서 발생하는 “핫 월” 문제를 해결하는 방법 스마트 센서의 포장 작업을 해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 부품을 원하는 온도까지 가열하는 것은 비교적 쉬운 일입니다. 하지만 진짜 문제는 기계의 나머지 부분이 오븐처럼 변하지 않도록 하는...