반도체 스퍼터링 히터

Role 현장에서는 스퍼터링 챔버의 열 프로파일이 설정 후 잊어버리는 대상이 아니다. 이는 필름 두께 분포, 응력, 수율을 실시간으로 좌우한다. 0.5도 미만의 온도 변화만으로도 증착 속도가 변해 장치가 사양에서 벗어날 수 있다. 우리는 이러한 현실을 감안하여 반도체...