Op de productielijn kan een verschil van 1°C tijdens het zacht bakken tot gevolg hebben dat hele lagen chips beschadigd raken. We hebben speciale infraroodverwarmers ontwikkeld om dit risico weg te nemen. Hierdoor is er een betrouwbare temperatuurregeling mogelijk tijdens het drogen van de chips, het bakken van het fotorezistmateriaal, het harden van de behuizingen en het drogen na het reinigen.
Wat belangrijk is De verwarmer maakt gebruik van near-infraroodstraling met een aangepast spectrum. Hierdoor wordt het te verwarmen materiaal rechtstreeks verhit – zonder dat er contaminatie optreedt. De uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de chip blijft binnen ±0,1°C, terwijl de herhalbaarheid tussen verschillende behandelingen binnen ±0,5°C ligt. De reactietijd is minder dan twee seconden, zodat de temperatuur nauwkeurig kan worden geregeld. Met een kwarts/ceramische constructie, materialen zonder uitstoot en een ontwerp dat zorgt voor minimale partikeltjes, wordt een zuivere omgeving behaald. Deze apparaten zijn ontworpen voor 24/7 gebruik, met een levensduur van tienduizenden uren. Er zijn ook vervangbare modules beschikbaar om onverwachte stilstand te voorkomen.
Bij lithografie spelen zowel zacht als hard bakken een belangrijke rol bij het bepalen van de precisie van de afmetingen. Onze verwarmers zorgen ervoor dat de temperatuur van het fotorezistmateriaal precies wordt geregeld. Hierdoor neemt de variatie in lijndikte af en stijgt de productiekwaliteit. Tijdens het drogen van de chips en na het reinigen zorgt snelle, uniforme verhitting ervoor dat er geen vlekken of watermerken op het oppervlak ontstaan – zonder dat er contact is met het materiaal.
Bij het verpakken zorgen dezelfde verwarmers voor consistente resultaten bij het harden van materialen. Hierdoor wordt de cyclusduur verkort, terwijl de hechting en betrouwbaarheid behouden blijven. Ook de energieverbruik neemt af, omdat de warmte rechtstreeks naar het proces gaat, in plaats van in een grote kamer.
Het belangrijkste is dat deze verwarmers zijn aangepast aan uw apparaat. De geometrie van de kamer, de manier van bevestigen en de positie van de sensoren zijn allemaal belangrijk. Het inrichten van de apparaten gaat snel. U heeft schone, droge lucht nodig om de temperatuur stabiel te houden. Het is belangrijk om het spectrale signaal aan te passen aan het materiaal dat wordt verwerkt. Wij leveren de benodigde gegevens om de emissie en reflectie voor elk proces te optimaliseren.