Bij de EUV-lithografie wordt het verhitten van de fotorezist niet alleen gezien als een thermische stap die moet worden uitgevoerd. Het is juist hier dat de controle over de dikte van de lijnen en het aantal defecten wordt bepaald. Een verschil van een paar tienden van een graad of zelfs een kleine hoeveelheid deeltjes kan ertoe leiden dat de uniformiteit van de afmetingen van de wafer niet voldoet aan de vereisten. Hierdoor kunnen veel wafer’s worden verspild. We hebben onze verhittingselementen zo ontworpen dat deze variabiliteit wordt weggenomen.
Wat echt belangrijk is, is dat het systeem gebruikmaakt van infrarode stralers met korte en middellange golflengten, die afgestemd zijn op de absorptie van de fotorezist. Hierdoor blijft het temperatuurprofiel over de hele wafer stabiel. De temperatuurvariatie ligt binnen ±0,1°C in het actieve gebied, waardoor er sprake is van herhalbaarheid tussen verschillende batches. De constructie bestaat uit kwarts en halogeen; dit zorgt voor een schone omgeving, zonder enige uitstoot van deeltjes in een schone ruimte van klasse 1–100. De output blijft consequent, zelfs bij 24/7 bedrijfsduur, zonder onverwachte stilstand door problemen met de verhittingselementen.
Bij de EUV-lithografie spelen ook factoren als zacht verhitten, hard verhitten en thermisch veroorzaakte hechting een rol. De thermische uniformiteit op het niveau van de wafer is dus cruciaal voor de kwaliteit van de productie. Goede temperatuurregeling verkort de tijd die nodig is voor de kalibratie, vermindert het aantal verspilde wafer’s en bespaart energie. Het resultaat is een consistente kwaliteit van de producten en een proces dat gemakkelijk te beheren is.
Er zijn nog een paar praktische punten. De verhittingselementen passen bij de meeste EUV-systemen, maar de integratie moet rekening houden met de geometrie van de kamer en de luchtvloeiing, zodat het temperatuurprofiel behouden blijft. Houd rekening met mogelijkheid tot kalibraties wanneer je de stralers vervangt. Plan ook regelmatige vervangingen op basis van het aantal uren gebruik en de temperatuurgeschiedenis. Beschouw het thermische budget als een gecontroleerde variabele, en niet als iets wat je alleen maar moet beperken tot bepaalde toleranties.