Het verminderen van koolstofuitstoot in reinigingslijnen voor semiconductoren (zonder problemen)
Laten we eerlijk zijn: de reinigings- en droogingsfasen in fabrieken voor semiconductoren vereisen enorm veel energie. Hier gaat veel energie verloren. We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van oplossingen, en de oplossing bleek te zijn: Waterdichte infraroodlampen.
Ze zijn speciaal ontworpen voor die vochtige reinigingskamers, waar gewone apparatuur niet meer werkt.
Stop met het verwarmen van de lucht
Traditionele convectieovens proberen alles te verwarmen. Ze verspillen veel energie om de hele kamer op temperatuur te brengen, alleen maar om de wafer droog te maken. Dat is inefficiënt.
Onze infraroodlampen werken anders. Ze gebruiken kortegolfstraling om rechtstreeks de oppervlakte van de wafer te bereiken. Je hoeft niet meer te vechten tegen de thermische massa van het hele systeem. Hierdoor neemt de energieverbruik drastisch af. Er is minder vertraging bij het starten van het systeem, en er wordt geen energie meer verspild wanneer het systeem stil staat. Het is dus efficiënter.
Omgaan met vochtigheid
Als je een standaard kwartsbuis in een reinigingskamer plaatst, zal deze barsten of defect raken. De vochtigheid is gewoon te hoog.
Daarom sluiten we deze apparaten goed af. We gebruiken elektroden die vocht buitenhouden, door middel van hoogzuiver kwarts en afsluitingen die waterdamp kunnen verdragen zonder te branden.
Maar let op: je moet goed opletten hoeveel wattage er wordt gebruikt. Een IR-array met hoge dichtheid genereert veel warmte. Als je afvoersysteem niet sterk genoeg is om deze warmte weg te halen, kan dat leiden tot schade aan sensoren en gereedschap. Balans is hier belangrijk.
“Groene fabrieken” echt laten werken
Wanneer mensen het hebben over “groene fabrieken”, klinkt dat vaak als marketingpraat. Maar in werkelijkheid gaat het gewoon om efficiëntie.
Eén van de grote voordelen van infraroodlampen is dat ze bijna onmiddellijk werken. Aan of uit. Geen wachten nodig. Je bespaart hierdoor veel energie wanneer de wafer wordt vervoerd.
We zien de grootste verbeteringen wanneer ingenieurs de oude, zware thermische verwarmer vervangen door IR_arrays. Je kunt zelf bepalen waar de warmte naartoe gaat. Dit zorgt voor lagere energieverbruiken per wafer, waardoor de koolstoftargets gemakkelijker behaald kunnen worden – zonder dat de productiesnelheid afneemt.