Pare de aquecer as paredes da sua máquina
A maioria dos elementos de aquecimento é problemática. Eles dissipam calor por toda parte, o que é um verdadeiro problema quando se trabalha com ferramentas para semicondutores. Acaba-se com essas “paredes quentes”, onde o chassi absorve energia desnecessária.
É um duplo problema: você perde energia, e seus operadores precisam ter cuidado para não se queimar enquanto mantêm a máquina funcionando. Além disso, existe o risco de danificar as partes internas da máquina.
Encontramos uma solução melhor: lâmpadas infravermelhas direcionais.
Como isso funciona na prática
Pense nisso menos como um aquecedor e mais como uma lanterna. Em vez de aquecer todo o ar dentro da câmara, as lâmpadas infravermelhas emitem radiação eletromagnética em linha reta. O calor atinge apenas o alvo desejado – seu wafer ou substrato. Tudo o resto permanece frio, pois fica fora do alcance da radiação. Isso significa que você pode deixar de usar aqueles sistemas de resfriamento complicados nas paredes externas da máquina.
Como aplicá-lo na prática
Dependendo das suas necessidades, você pode usar lâmpadas infravermelhas de onda curta ou média para direcionar o calor exatamente para onde é necessário. Combine-as com um controlador PID para obter um controle de temperatura preciso.
O melhor de tudo? A temperatura da superfície externa da máquina diminui significativamente. Você não precisa mais lutar contra esse calor constante que torna tão difícil o gerenciamento das câmaras de alta temperatura.
O lado negativo (pois sempre há um)
O aquecimento direcional requer precisão. Se a posição da peça estiver errada, mesmo que sejam poucos milímetros, haverá áreas frias no substrato. É preciso ajustar bem os refletores para garantir uma cobertura uniforme.
Além disso, tenha cuidado com a potência das lâmpadas infravermelhas: elas consomem muita energia. Certifique-se de que seus fios possam suportar esse aumento de consumo, caso contrário, você passará o tempo todo tentando reiniciar os disjuntores.
Mas, uma vez que tudo esteja configurado corretamente, as paredes da sua máquina deixarão de funcionar como grandes dissipadores de calor. Você economizará dinheiro com a conta de eletricidade, e sua equipe poderá trabalhar ao redor da máquina sem preocupações.