Por que usamos refletores revestidos de ouro no processamento de wafers
Sejamos honestos: desperdiçar energia em um sistema semicondutor é simplesmente um mau design. Quando se aciona um aquecedor, uma grande parte dessa energia infravermelha acaba se dispersando ou vazando para fora do equipamento. É um desperdício. É por isso que usamos revestimentos de ouro nas superfícies reflexivas. Isso evita esse vazamento de energia.
A capacidade de reflexão do ouro
O ouro não existe apenas para deixar a máquina mais bonita. Trata-se de questões físicas. O ouro é excelente em refletir radiação infravermelha de ondas longas. Enquanto o alumínio comum começa a ter dificuldades à medida que a temperatura aumenta, o ouro continua a refletir a energia. Isso significa que quase toda a energia proveniente do elemento aquecedor chega efetivamente ao wafer. Isso resulta em um foco muito preciso da energia. E como a energia vai exatamente para onde precisa ir, não é necessário aumentar muito a potência para atingir a temperatura desejada.
Fiações e o problema do excesso de calor
Ao lidar com esse tipo de energia, as fiações precisam ser adequadas para essa tarefa. Usamos fiações isoladas com tecido de teflona por um motivo simples: elas não derretem. Elas conseguem suportar o calor extremo próximo à lâmpada sem liberar gases perigosos. Se o isolamento começar a se deteriorar, surgem contaminantes no wafer, o que é um problema sério. Mas há algo importante a considerar: é preciso ficar atento ao impacto térmico. Como os refletores de ouro são muito eficientes, eles geram muita densidade de calor no wafer. Se o sistema de resfriamento não estiver preparado para esse aumento na temperatura ambiente, os sensores ao redor podem ser danificados.
Uma observação sobre a manutenção
O ouro é a melhor opção para esse trabalho, mas ele é muito macio. Muito mesmo. Se a equipe de manutenção usar panos abrasivos durante a limpeza, o revestimento será danificado. Isso criará “pontos frios” no wafer, fazendo com que o perfil térmico fique irregular. É preciso usar métodos de limpeza não abrasivos. Essa é a única maneira de manter a eficiência de reflexão do ouro. Quando as fiações estão em ordem e o revestimento está intacto, tudo funciona bem. O tempo necessário para alcançar a temperatura desejada diminui, e você obtém um perfil térmico uniforme em todo o wafer.