Por que os refletores de luz infravermelha são realmente importantes para o processo de cura sem chumbo
O mundo dos semicondutores está se esforçando para adotar padrões sem chumbo e que economizem energia. Por muito tempo, dependemos de fornos convencionais, mas, para ser honesto, aquecer todo esse ar é um desperdício enorme de energia.
É por isso que passamos a usar a tecnologia de cura por luz infravermelha. Essa técnica atinge diretamente a superfície do wafer. Mas aqui está o problema: não basta simplesmente colocar uma lâmpada lá dentro e considerar o trabalho concluído. É necessário um refletor adequado para essa tarefa.
Pare de desperdiçar calor
Pense em como funciona uma lâmpada de luz infravermelha: ela emite calor em todas as direções. Sem um refletor, metade dessa energia é gasta apenas para aquecer as paredes da máquina. É um completo desperdício.
Nós projetamos nossos refletores para capturar essa energia perdida e direcioná-la de volta ao wafer. Isso permite que aumentemos o fluxo de calor sem precisar injetar mais energia no sistema. É mais rápido. Muito mais rápido. E, ao alcançar rapidamente as temperaturas necessárias para a cura, o tempo total do processo diminui.
Os materiais que realmente funcionam
Não utilizamos revestimentos de baixa qualidade. Para manter tudo limpo e cumprir as regulamentações ambientais, usamos substratos de alumínio de alta pureza ou substratos revestidos com ouro.
Esses materiais conseguem suportar a intensa carga térmica das lâmpadas de luz infravermelha sem se deformarem. Nosso foco é na reflexão especular – ou seja, a luz é refletida como se fosse um espelho. Se a luz se dispersar, surgem pontos quentes, o que pode causar rachaduras no wafer. Ninguém quer isso.
A realidade no ambiente de produção
Isso não é algo que possa ser resolvido simplesmente conectando o equipamento à tomada. Ao usar uma superfície altamente refletiva, você concentra muito calor em um único ponto. Se os ventiladores de resfriamento não forem suficientes, haverá problemas. Já vimos fios queimarem ou componentes se deformarem devido à alta densidade térmica ao redor do equipamento.
É preciso equilibrar bem os fatores envolvidos. É preciso encontrar o ponto focal correto e a distância adequada em relação ao wafer.
Passar para o uso de luz infravermelha significa que você pode eliminar os solventes químicos e reduzir a pegada de carbono da sua sala limpa. É a maneira mais eficaz de alcançar os padrões sem chumbo, sem ter que lutar constantemente com o equipamento.