
Reduzindo as emissões de carbono nas linhas de enxágue dos semicondutores (sem complicações)
Sejamos honestos: as etapas de enxágue e secagem nas fábricas de semicondutores consomem uma quantidade enorme de energia. É lá que muita energia é desperdiçada. Passamos muito tempo tentando encontrar soluções para isso, e a resposta foi o uso de lâmpadas infravermelhas à prova d’água. Elas são projetadas especificamente para aquelas câmaras úmidas onde os equipamentos convencionais não funcionam bem.
Pare de aquecer o ar
O problema com os fornos convencionais é que eles tentam aquecer tudo ao mesmo tempo. Eles desperdiçam muita energia apenas para aquecer toda a câmara, só para secar as pastilhas. Isso é ineficiente. As lâmpadas infravermelhas funcionam de maneira diferente. Elas usam radiação de ondas curtas para atingir diretamente a superfície da pastilha. Assim, não há necessidade de lidar com a massa térmica de todo o sistema. Por isso, o consumo de energia diminui. Além disso, há um aumento na velocidade de secagem, e não há mais desperdício de energia enquanto o sistema está parado. É simplesmente mais eficiente.
Lidando com a umidade
Se você colocar um tubo de quartzo padrão em uma câmara de enxágue, ele vai quebrar ou parar de funcionar. A umidade é simplesmente muito alta. Por isso, selamos esses equipamentos bem fechados. Focamos nas interfaces dos eletrodos para evitar a entrada de umidade, utilizando quartzo de alta pureza e selos que conseguem suportar o vapor d’água sem se danificarem. Mas é preciso ter cuidado: é necessário controlar a potência das lâmpadas. Um arranjo de lâmpadas infravermelhas de alta densidade gera uma grande quantidade de calor. Se o sistema de resfriamento não for suficientemente eficaz, seus sensores e ferramentas podem ser danificados. O equilíbrio é fundamental aqui.
Tornando as “fábricas verdes” realmente eficazes
Quando as pessoas falam em “fábricas verdes”, muitas vezes parece ser apenas marketing. Mas, na prática, trata-se simplesmente de eficiência. Uma das vantagens das lâmpadas infravermelhas é que elas são imediatamente eficazes. Ligam e desligam sem demora. Não há mais desperdício de energia durante os períodos em que as pastilhas estão sendo transportadas. Vemos grandes benefícios quando os engenheiros substituem os antigos aquecedores térmicos por arranjos de lâmpadas infravermelhas. Assim, é possível decidir exatamente onde o calor será aplicado. Isso reduz o consumo total de energia por pastilha, ajudando assim a alcançar as metas de redução de carbono – sem diminuir a produtividade.