Сокращение выбросов углерода при производстве полупроводников с использованием инфракрасных ламп без озона
Производство полупроводников требует огромного количества энергии и высокой точности. Но будем честны: традиционные методы обработки в таких процессах приводят к значительным выбросам углерода. Мы пытаемся решить эту проблему с помощью инфракрасных ламп без озона. Это более простой способ избежать расточительства энергии и не иметь дело с вредными побочными продуктами, которые образуются при использовании коротковолнового излучения.
Проблема с озоном
Проблема заключается в том, что стандартные инфракрасные лампы излучают свет в диапазоне 185–254 нанометров. Это приводит к превращению кислорода в воздухе в озон (O3). В чистых помещениях озон представляет серьезную проблему – это вещество, которое совершенно не нужно.
Мы решили эту проблему с помощью специальных нитей или кварцевых покрытий, которые блокируют излучение в диапазоне вакуумного ультрафиолета. Таким образом сохраняется высокая температура, но при этом не возникает накопления газов. Кроме того, поскольку нет озона, можно отказаться от сложных систем для его удаления. Это значительно снижает расходы на энергию.
Применение в практике
Эти лампы разработаны для быстрой работы. Они обеспечивают высокую мощность и быстрый нагрев. Цель состоит в том, чтобы уменьшить потери энергии, которые происходят, когда оборудование просто находится в состоянии нагрева.
Вместо того чтобы нагревать всю комнату, как в гигантской печи, тепло направляется непосредственно на пластину. Это гораздо более эффективный способ использования электроэнергии.
Кроме того, оборудование разработано так, чтобы его можно было заменить без необходимости демонтажа всего оборудования. Мы также используем усиленный кварц, чтобы лампы не трескались при быстром изменении температуры.
Проблемы
Но все не так просто. Есть некоторые недостатки. Если стремиться к максимальной скорости нагрева, электропитание будет испытывать значительное напряжение. Необходимо убедиться, что электрические щиты справляются с пиковым током, иначе возникнут проблемы.
Также важна дистанция между лампами. Если они слишком близко, на пластине будут образовываться горячие точки. Если же они слишком далеко, эффективность будет снижена. Мы также добавляем защитные элементы, чтобы тепло оставалось там, где должно быть, и не распространялось по корпусу оборудования.