Сокращение выбросов углерода в процессе промывки полупроводниковых пластин (без лишних проблем)
Давайте будем честны: процессы промывки и сушки в заводах по производству полупроводников потребляют огромное количество энергии. Именно здесь тратится много энергии впустую. Мы потратили много времени на поиски решения этой проблемы, и оказалось, что ответом являются водонепроницаемые инфракрасные лампы.
Они специально разработаны для использования в влажных условиях, где обычное оборудование не может функционировать.
Не нужно нагревать воздух
Традиционные конвективные печи пытаются нагреть всё вокруг. Они тратят огромное количество энергии на нагрев всей камеры лишь для того, чтобы высушить пластину. Это неэффективно.
Наші инфракрасные лампы работают по-другому: они используют коротковолновое излучение для непосредственного нагрева поверхности пластины. Таким образом, не нужно бороться с тепловым потенциалом всей системы. В результате расход энергии снижается. Ускоряется процесс сушки, и не тратится энергия во время бездействия системы. Это значительно повышает эффективность.
Борьба с влажностью
Если использовать обычную кварцевую лампу в процессе промывки, она будет разрушаться или перегреваться. Влажность слишком велика. Поэтому мы используем герметичные устройства, которые предотвращают проникновение влаги. Для этого используется высокочистый кварц и уплотнители, способные выдерживать водяной пар без повреждений.
Но нужно быть осторожным: необходимо контролировать мощность ламп. Высокомощные инфракрасные лампы выделяют огромное количество тепла. Если система выпуска тепла недостаточно сильная, это может привести к повреждению датчиков и инструментов. Здесь ключевым фактором является баланс.
Превращение заводов в „зеленые“
Когда人们 говорят о „зеленых заводах“, это часто звучит как маркетинговая фраза. Но на самом деле речь идет о повышении эффективности.
Одним из преимуществ инфракрасных ламп является то, что они работают мгновенно – можно включить их сразу. Не нужно тратить энергию во время перевозки пластин. Мы видим значительные преимущества, когда инженеры заменяют старые, тяжелые нагреватели на инфракрасные лампы. Так можно точно контролировать направление нагрева. Это снижает общее количество энергии, потребляемой на обработку одной пластины, что помогает достичь целей по сокращению выбросов углерода – при этом скорость производства не снижается.