Зменшення викидів вуглецю під час виробництва половинчастих пристроїв за допомогою інфрачервоного випромінювання без озону
Виробництво напівпровідників вимагає значної кількості тепла та високої точності. Але будьмо чесні: традиційні методи обробки матеріалів призводять до значних викидів вуглецю. Ми намагаємося вирішити цю проблему, використовуючи інфрачервоні лампи без озону. Це простіший спосіб уникнення марнотратства енергії та усунення шкідливих побічних продуктів, які зазвичай утворюються під дією коротковолнового випромінювання.
Проблема озону
Проблема полягає у стандартних коротковолнових інфрачервоних лампах – вони випромінюють світло в діапазоні 185 нм–254 нм, що призводить до перетворення кисню в повітрі на озон (O3). У чистих приміщеннях озон є серйозною проблемою – це забруднювач, якого дуже не хочеться мати.
Ми вирішили цю проблему, використовуючи спеціальні філаменти чи кварцові покриття, які блокують випромінювання у ВУВ-діапазоні. Таким чином, можна отримати високу щільність тепла, але без утворення газу. Крім того, оскільки не потрібно боротися з озоном, можна обійтися без великих систем для видалення шкідливих речовин. Це значно скорочує енергоспоживання підприємства.
Ефективність у реальних умовах
Ці лампи призначені для швидкої роботи. Вони мають високу потужність та швидку швидкість нагріву. Метою є усунення „непотрібного тепла“ – тієї енергії, яка витрачається під час нагрівання обладнання. Замість того, щоб нагрівати всю камеру, тепло направляється безпосередньо на пластину. Це значно ефективніший спосіб використання електроенергії.
Крім того, обладнання розроблене так, щоб його можна було легко замінити на існуючі пристрої для сушіння чи нагрівання. Ми також використовуємо посилений кварц, щоб лампи не тріскалися під час різких змін температури.
Проблеми
Хоча все це здається чудесним, існують певні компроміси. Якщо потрібна дуже швидка швидкість нагріву, електропостачальні пристрої будуть під великим навантаженням. Потрібно переконатися, що електропанелі можуть витримати пікоподібний струм. Також важлива відстань між лампами – якщо вони знаходяться занадто близько, на пластині можуть утворитися гарячі точки. Якщо ж вони знаходяться занадто далеко, ефективність процесу знижується. Ми також використовуємо захисні елементи, щоб тепло залишалося на місці та не поширювалося по корпусу обладнання.