Зупиніть ваші інфрачервоні лампи від знищення ваших пластин
У великомасштабних установках для виробництва напівпровідників зламана інфрачервона лампа – це не просто проблема чи коротке призупинення роботи. Це справжній кошмар.
Коли кварцова трубка ламається, скляні уламки та галогенний газ потрапляють прямо на пластини. Одна зламана лампа може знищити цілу партію продукції за кілька секунд. Ми витратили багато часу на пошук способів запобігання цьому, зосередившись на формі ламп та їх розташуванні.
„Золота відстань“
Неможливо просто розмістити лампу безпосередньо біля пластини. Потрібна певна відстань між ними.
Ми рекомендуємо певну безпечну відстань, яка залежить від потужності лампи та температури, яку вона створює. Чому? Тому що предмети рухаються при підвищенні температури. Якщо трубка деформується під дією високої температури, ця відстань перешкоджає її контакту з пластиною.
Звісно, можна зменшити цю відстань для отримання більшого теплового потоку, але це небезпечно. Навіть незначна деформація може призвести до фізичного ушкодження пластини. Обов’язково переконайтеся, що кріплення лампи є міцними, щоб зберегти цю відстань.
Підтримання чистоти
Ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти, щоб мінімізувати випаровування речовин. Але ми також вважаємо доцільним використовувати додатковий захисний елемент між лампою та пластиною.
Це своєрідний „охоронець“. Якщо лампа ламається, захисний елемент захищає пластину від уламків.
Ми також приділяємо багато уваги герметизації електродів, щоб запобігти витоку галогену. Якщо ви працюєте 24/7, обов’язково перевірте затиснення контактів. Недостатнє затиснення може призвести до виникнення електричних іскр, що значно прискорює знищення лампи.
Потужність проти спокою
Лампи високої потужності ідеальні для швидкого запуску процесу виробництва. Але чим більша потужність, тим більший внутрішній тиск.
Це потребує балансу. Потрібно враховувати як щільність тепла, так і здатність системи охолодження ефективно відводити тепло від кінців лампи. Якщо система охолодження не може ефективно відводити тепло, кварц починає деформуватися та зрештою тріскається.
Ми підготували таблиці, які допоможуть вам визначити оптимальну відстань між лампою та пластиною, щоб отримати необхідну кількість тепла без ризику її знищення.