Wenn man MEMS-Sensorwafern nach einer chemischen Reinigung trocknen möchte, braucht man Wärme – und zwar schnell. Doch es gibt ein Problem: Wenn man mit brennbaren oder explosiven Dämpfen arbeitet, ist eine herkömmliche Infrarotlampe nicht nur ein Hilfsmittel – sie stellt auch eine Gefahr dar.
Niemand möchte, dass im Labor ein Feuer ausbricht. Deshalb machen wir die Dinge auf eine andere Weise. Wir verwenden ein spezielles Verpackungssystem, das den Heizelemente in einer sicheren Zone platziert – völlig abgeschirmt von der umgebenden Luft.
Verhindern von Schadstoffen
Wir umhüllen unsere Infrarotquarzröhren mit einer widerstandsfähigen, chemikalienbeständigen Hülle aus Saphir oder hochwertigem Quarz. Das fungiert wie ein Schutzschild – es verhindert, dass flüchtige organische Verbindungen die heißen Fäden berühren können.
Selbst wenn die Abdichtung versagt, trifft das Gas lediglich auf einen kontrollierten Raum statt auf die aktiven Heizelemente. Um sicherzustellen, dass nichts an den Anschlusspunkten durchsickert, verwenden wir Hochtemperatur-Lötverfahren oder spezielle Glasschweißverbindungen. Es geht dabei um Sicherheit.
Kontrolle der Wärme
Hier liegt das Problem: Infrarotlampen mit hoher Intensität werden extrem heiß. Wenn die Außenhülle zu heiß wird, kann das dazu führen, dass die umgebenden Dämpfe entflammen.
Um das zu verhindern, verwenden wir oft eine doppelwandige Hülle, die mit inertem Gas oder Vakuum gefüllt ist. Dadurch kann das Infrarotlicht ungehindert durchdringen, um die Wafer zu trocknen – gleichzeitig bleibt die Temperatur der Außenoberfläche unter Kontrolle.
Aber man muss das richtige Gleichgewicht finden. Wenn man zu viel Isolierung verwendet, wird das Innere der Lampe zu heiß. Wenn man hingegen zu hohe Leistung nutzt, verbrennen die Fäden viel schneller, als gewünscht.
Installation
Wir bauen diese Heizgeräte so, dass sie auch bei ständiger Nutzung nicht versagen. Selbst die Befestigungselemente bestehen aus antistathischen Materialien – somit muss man sich keine Sorgen um Funkenbildung während der Installation machen.
Noch eines: Überprüfen Sie die Verkabelung. Stellen Sie sicher, dass sie für die tatsächliche thermische Belastung geeignet ist. Andernfalls wird die Isolierung beschädigt und es kommt zu Kurzschlüssen – dann sind wir wieder am Anfang.