Hören Sie auf, die Wände Ihrer Geräte zu erhitzen – und heizen Sie stattdessen die Wafer direkt auf.
Es ist eine Frage der Präzision, die Halbleiterwafer auf die richtige Temperatur zu bringen. Doch wenn man Standard-Infrarotlampen verwendet, kämpft man im Grunde gegen Windmühlen. Diese Lampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – dadurch wird ein großer Teil der Energie nur dazu verwendet, die Innenwände des Geräts zu erwärmen.
Das ist eine Verschwendung von Energie. Schlimmer noch: Dadurch wird das Gehäuse des Geräts zu einem riesigen Radiator, der bei Wartungsarbeiten den Bediener sogar verbrennen kann. Das ist natürlich nicht ideal.
Die Lösung ist einfach: Man sollte aufhören, Wärme in alle Richtungen abzustrahlen, und stattdessen gezielt arbeiten. Wir verwenden dabei gezieltes Infrarotheizen, um dieses Problem zu lösen.
Wie es funktioniert
Stellen Sie sich eine gewöhnliche Quarzlampe vor – sie strahlt Wärme in einem 360-Grad-Kreis ab. In einem Wafer-Gerät trifft die Hälfte dieser Energie nur auf Metallwände.
Wir verwenden spezielle Reflektoren und Filter, um den Wärmestrahl genau dorthin zu lenken, wo er benötigt wird – nämlich auf die Oberfläche des Wafers. So bleibt die Aufheizgeschwindigkeit hoch, während der Rest des Geräts kühl bleibt. Kein unnötiges Erhitzen des Inneren des Geräts mehr.
Das Schwierige: Die richtige Ausrichtung
Diese Lampen sind zwar dafür konzipiert, in engen Räumen installiert zu werden, aber sie sind nicht „Plug-and-Play“. Die Ausrichtung der Lampe ist entscheidend.
Wenn die Lampe auch nur einen kleinen Fehler in der Ausrichtung hat, entstehen kühle Stellen auf dem Wafer sowie heiße Stellen an den Wänden. Es handelt sich dabei um eine sehr feine Abstimmung, die Erfahrung erfordert.
Außerdem spielt auch die Luftzirkulation eine Rolle. Eine leistungsstarke Infrarotlampe ist zwar leistungsfähig, doch die Lampe selbst wird trotzdem heiß. Wenn die interne Kühlung nicht ausreicht, um diese Wärme abzuführen, können die Anschlüsse oder die Reflektorbeschichtungen mit der Zeit beschädigt werden. Man muss also eine Balance zwischen Leistungsintensität und Kühlung finden.
Vorteile für Ihr Team
Wenn man aufhört, Wärme in das Gehäuse abzustrahlen, wird alles einfacher. Man muss keine massiven Isoliermaterialien auf allen internen Elementen verwenden, nur um die Sicherheit der Mitarbeiter zu gewährleisten.
Die Wartung des Geräts wird dadurch viel einfacher. Man kann den Behälter öffnen und Teile austauschen, ohne stundenlang warten zu müssen, bis das Metall auf eine Temperatur abgekühlt ist, bei der die Haut nicht verbrannt wird. Es ist einfach eine sicherere und schnellere Art zu arbeiten.