Comment protéger les équipements lors de l’utilisation de chauffage infrarouge à proximité de produits chimiques volatils
Si vous dirigez une usine de semi-conducteurs, vous connaissez bien le problème : des lampes infrarouges sont utilisées juste à côté de produits chimiques qui, pour le dire crûment, détestent la chaleur. Utiliser une lampe nue dans ces zones, c’est s’exposer à des problèmes.
Pour y remédier, nous enveloppons la lampe dans un bouclier en verre de quartz spécialisé. On peut voir cela comme un mur physique qui empêche la chaleur et les produits chimiques de se rencontrer.
Pourquoi du quartz ?
Nous choisissons du quartz fusionné de haute pureté pour une raison simple : il ne se dégrade pas lorsqu’il fait chaud. Le verre ordinaire, lui, se briserait dès que la lampe se réchauffe.
Le bouclier en quartz protège les bornes électriques de la lampe ainsi que son filament. Cela permet d’éviter les incidents liés aux étincelles. En cas de fuite de produits chimiques, le bouclier empêche ces gaz volatils d’atteindre les parties les plus chaudes de la lampe. Il ne s’agit pas seulement de protéger l’équipement, mais aussi d’éviter que toute l’usine ne parte en fumée.
Les inconvénients
Rien n’est parfait. Le quartz est excellent, car il permet à la plupart des rayonnements infrarouges de passer à travers lui. La chaleur atteint donc bien sa destination – vos wafers ou substrats – sans que le bouclier ne devienne lui-même une source de chaleur intense.
Cependant, on observe une légère baisse de l’efficacité. Une petite quantité de chaleur reste bloquée par le mur en verre. Ce n’est pas un problème majeur. Nous augmentons généralement un peu la puissance de la lampe ou ajustons la distance focale pour garantir que la température souhaitée soit atteinte.
Installation
Ces boucliers ont été conçus pour être des remplacements simples pour les boîtiers standards utilisés dans les usines de fabrication. Il n’est pas nécessaire de reconstruire toute l’installation.
Mais c’est là que les gens font souvent des erreurs : les joints. Les extrémités du tube en quartz doivent être hermétiques. Si les joints échouent lors des cycles thermiques, votre barrière de protection devient inutile. Nous utilisons des joints spéciaux pour éviter ces fuites, mais il est toujours nécessaire de vérifier régulièrement leur état. C’est beaucoup moins cher de vérifier les joints que d’avoir à faire face à des pannes imprévues.