Réduire les émissions de carbone dans les lignes de rinçage des semi-conducteurs (sans problèmes)
Soit honnêtes : les étapes de rinçage et de séchage dans les usines de semi-conducteurs consomment énormément d’énergie. C’est là que beaucoup d’énergie est gaspillée inutilement. Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des solutions pour y remédier, et il s’avère que les lampes infrarouges étanches sont la solution idéale.
Arrêter de chauffer l’air
Les fours traditionnels à convection tentent de chauffer tout l’espace intérieur du four. Ils gaspillent donc énormément d’énergie pour simplement sécher les wafer. C’est inefficace. Nos lampes infrarouges fonctionnent différemment : elles utilisent des rayonnements à ondes courtes pour chauffer directement la surface du wafer. Ainsi, on ne doit plus lutter contre la masse thermique du système tout entier. La consommation d’énergie diminue donc. Le temps de démarrage est réduit, et l’énergie n’est plus gaspillée lorsque le système est en veille. C’est vraiment plus efficace.
Gérer l’humidité
Si l’on met une lampe à quartz ordinaire dans un bac de rinçage, elle se brisera ou cessera de fonctionner. L’humidité est simplement trop élevée. C’est pourquoi nous scellons hermétiquement ces dispositifs. Nous utilisons du quartz de haute pureté et des joints capables de résister à la vapeur d’eau sans se détériorer. Mais attention : il faut bien contrôler la puissance des lampes. Un système à ampoules infrarouges à haute densité génère beaucoup de chaleur. Si le système de refroidissement n’est pas suffisamment efficace, cela peut endommager les capteurs et les outils utilisés. L’équilibre est essentiel ici.
Faire fonctionner réellement des “usines vertes”
Lorsque les gens parlent d’“usines vertes”, cela ressemble souvent à du marketing. Mais en réalité, il s’agit simplement d’efficacité. Un des avantages des lampes infrarouges, c’est qu’elles fonctionnent instantanément. Pas de temps d’attente. On cesse ainsi de gaspiller des kilowatts pendant les moments où les wafer sont transportés. Les meilleurs résultats sont obtenus lorsque les ingénieurs remplacent ces anciens chauffages par des systèmes à lampes infrarouges. On peut ainsi contrôler précisément où va la chaleur. Cela permet de réduire la consommation d’énergie par wafer, ce qui aide à atteindre les objectifs en matière de réduction des émissions de carbone – sans ralentir la production.