अपने सिलिकॉन वेफरों को साफ रखना: आईआर हीटिंग संबंधी सच्चाई
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको इस समस्या का पता ही होगा। एक छोटा सा धूल का कण, या किसी कंपोनेंट से निकलने वाली गैस… और बस! आपका पूरा उत्पाद बेकार हो जाता है।
सिलिकॉन वेफरों को गर्म करने हेतु, आप किसी भी साधारण लैंप का उपयोग नहीं कर सकते। इसीलिए हम अपने आईआर लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं। यही एकमात्र तरीका है जिससे यह सुनिश्चित किया जा सकता है कि कोई भी धूल/अशुद्धता वेफरों पर न गिरे।
क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
वास्तव में, सामान्य क्वार्ट्ज “शुद्ध” नहीं होता। इसमें कई अशुद्धियाँ होती हैं, जो गर्म होने पर भाप में बदल जाती हैं। ऐसी स्थिति में समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं।
हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके। क्वार्ट्ज ट्यूब को एक वैक्यूम-सील्ड बुलबुले के रूप में ही सोचें… यह टंगस्टन फिलामेंट को सुरक्षित रखता है, ताकि वह क्लीनरूम की हवा से भी संपर्क न करे।
सही तापमान प्राप्त करना
पूरे वेफर पर समान तापमान होना आवश्यक है… न तो कोई गर्म बिंदु, न ही कोई ठंडा क्षेत्र।
हम ऐसे लैंपों का ही उपयोग करते हैं जो शॉर्ट-वेव आईआर तरंगें उत्पन्न करते हैं… इससे ऊष्मा सीधे ही वेफर पर पहुँचती है, न कि केवल चैंबर की दीवारों को ही गर्म करती है। इसके अलावा, चूँकि हम उच्च-घनत्व वाले फिलामेंटों का ही उपयोग करते हैं, इसलिए PID कंट्रोलर द्वारा ऊर्जा में परिवर्तन होने पर लैंप तुरंत ही प्रतिक्रिया देते हैं।
लेकिन ध्यान रखें… वोल्टेज में कमी न हो। यदि आप इन लैंपों को लंबी श्रृंखला में जोड़ें, तो प्रतिरोध के कारण वेफर के कुछ हिस्से अन्य हिस्सों की तुलना में ठंडे रह जाएँगे। मेरी सलाह है कि विशेष पावर सप्लाई का ही उपयोग करें… यही सबसे अच्छा तरीका है, ताकि प्रत्येक लैंप में ऊर्जा स्थिर रहे।
इन लैंपों को कैसे उपयोग में लाएं?
ये लैंप आपके मौजूदा सेमीकंडक्टर उपकरणों में आसानी से उपयोग में आ सकते हैं… लेकिन कूलिंग प्रणाली का ध्यान रखना आवश्यक है।
ये लैंप छोटे स्थान में ही बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न करते हैं… यदि हवा का प्रवाह धीमा हो, तो क्वार्ट्ज ट्यूब पर अत्यधिक तापीय दबाव पड़ेगा… ऐसी स्थिति में लैंप जल सकते हैं।
अपने कनेक्टरों को साफ रखें, सीलिंगों को ठीक रखें… ताकि वैक्यूम स्थिति ठीक ही बनी रहे।