Di bilik litografi ini, anda pasti tahu prinsipnya: sekiranya suhu pembakaran berbeza sebanyak setengah darjah, profil fotorezist akan terjejas. Kawalan ketebalan garis, kekuatan melekat, dan kepadatan kecacatan semuanya bergantung pada kawalan suhu yang tepat. Kami telah mencipta lampu inframerah yang memastikan suhu tetap stabil.
Prinsip teknikalnya sangat mudah difahami. Cahaya inframerah berfrekuensi rendah akan mengenai wafer secara langsung, lalu meningkatkan suhu dengan cepat sambil mengekalkan keseragaman suhu. Kami menggunakan pemancar halogen kuarsa yang direka untuk memberikan peningkatan suhu yang cepat dan keadaan suhu yang stabil, sehingga keseragaman suhu di permukaan wafer dapat dicapai dalam lingkungan ±0.1°C. Proses pembakaran yang lembut atau keras juga dilakukan dengan kawalan suhu yang tepat, agar dimensi penting wafer tetap memenuhi spesifikasi yang ditetapkan.
Keserasian dengan bilik bersih turut diambil kira—penggunaan bahan yang menghasilkan gas sedikit, komponen yang tertutup rapat, serta penghapusan segala bentuk zarah akan memastikan jumlah zarah tetap berada dalam tahap yang dibenarkan di persekitaran Kelas 1–100. Unit-unit ini direka untuk beroperasi 24/7, dengan jangka hayat lebih dari 5,000 jam sambil mengekalkan prestasi yang konsisten.
Inilah sebabnya ia penting: masa operasi dan hasil pengeluaran bergantung sepenuhnya pada konsistensi. Dengan kawalan suhu yang tepat, kita dapat mengurangkan kerja-kerja pembetulan fotorezist, serta mengelakkan pembaziran wafer akibat ketidakkonsistenan suhu. Respons suhu yang cepat membantu memendekkan masa proses tanpa mengorbankan kawalan yang tepat. Hasil yang stabil pula membantu mengelakkan pembaziran tenaga. Dalam praktiknya, kita akan melihat pengedaran dimensi yang lebih tepat, kekurangan kecacatan, serta waktu penyelenggaraan yang lebih mudah dirancang.
Satu perkara penting: lampu inframerah memerlukan jarak pemasangan yang tepat serta penyesuaian arah pancaran cahaya agar keseragaman dapat dicapai. Pastikan integrasi alat tersebut dilakukan dengan betul, dan periksa hubungan termal antara lampu dengan permukaan pembakaran. Pastikan voltan dan sambungan juga sesuai, agar tidak timbul masalah semasa operasi. Jika penyesuaian dilakukan dengan betul, sistem akan berfungsi seperti yang dirancang—konsisten, boleh diulangi, dan berada di bawah kawalan yang tepat.