Ketika anda sedang mengeringkan wafer sensor MEMS selepas proses pembersihan kimia, anda memerlukan haba – dan ia perlu diperoleh dengan cepat. Namun, ada masalahnya. Jika anda bekerja di persekitaran yang mengandungi wap mudah terbakar atau meletup, lampu inframerah biasa bukan sekadar alat bantuan, tetapi juga merupakan sumber risiko.
Tidak ada siapa yang mahu berlaku kebakaran di makmal. Itulah sebabnya kami menggunakan kaedah yang berbeza. Kami menggunakan sistem pengasingan khas yang memisahkan elemen pemanas daripada udara di sekelilingnya, supaya ia selamat dari bahaya.
Menghalang bahan berbahaya daripada masuk
Kami membungkus tiub kuarsa inframerah tersebut dalam lapisan pelindung yang tahan kimia, diperbuat daripada safir atau kuarsa berkualiti tinggi. Ia berfungsi seperti perisai yang melindungi filamen panas tersebut daripada disentuh oleh bahan organik yang mudah terbakar.
Walaupun lapisan pelindung tersebut rosak, gas tersebut akan menuju ke ruang kawalan, bukannya ke elemen pemanas itu sendiri. Untuk memastikan tiada bahan yang bocor pada titik sambungan, kami menggunakan kaedah penyambungan suhu tinggi atau penggunaan bahan khusus untuk menyekat kebocoran. Semua ini dilakukan untuk memastikan keselamatan.
Mengawal suhu
Masalahnya ialah lampu inframerah berintensiti tinggi boleh menjadi sangat panas. Jika bahagian luar lampu menjadi terlalu panas, ia boleh mencetuskan kebakaran akibat wap di sekelilingnya.
Untuk mengelakkan perkara ini, kami sering menggunakan lapisan pelindung berganda yang diisi dengan gas inert atau vakum. Ini membolehkan radiasi inframerah menembusi lapisan pelindung tersebut untuk mengeringkan wafer, sambil memastikan suhu permukaan luar tetap terkawal.
Namun, anda perlu mencari keseimbangan yang tepat. Jika lapisan pelindung terlalu tebal, lampu akan menjadi terlalu panas di bahagian dalamnya. Jika kuasa lampu terlalu tinggi, filamen akan cepat rosak.
Pemasangan
Kami membina pemanas ini agar dapat bertahan dalam penggunaan berterusan tanpa rosak. Bahkan, bracket pemasangan juga diperbuat daripada bahan yang tidak mudah menghasilkan percikan api, jadi anda tidak perlu risau tentang percikan api semasa pemasangan.
Satu perkara lagi: pastikan kabel yang digunakan sesuai dengan beban haba yang dikenakan pada pemanas tersebut. Jika tidak, lapisan pelindung akan rosak dan menyebabkan kerosakan pada pemanas tersebut.