Menjaga wafer agar tetap bersih: Kebenaran tentang penggunaan pemanasan IR
Jika anda mengendalikan bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa sukarnya untuk memastikan kebersihan wafer tersebut. Sebuah zarah debu yang sangat kecil atau gas yang bocor dari komponen tertentu pun boleh merosakkan keseluruhan wafer tersebut.
Dalam hal pemanasan wafer silikon, kita tidak boleh menggunakan lampu biasa. Itulah sebabnya kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi untuk lampu IR ini. Ini merupakan satu-satunya cara untuk memastikan tiada zarah apa-apa yang jatuh ke atas wafer tersebut.
Mengapa kuarsa begitu penting?
Kuarsa biasa sebenarnya bukanlah “murni”. Ia mengandungi kekotoran yang akan berubah menjadi wap apabila suhu meningkat. Ini boleh menyebabkan masalah semasa proses pemanasan. Kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku. Anggaplah tiub kuarsa sebagai gelembung vakum yang ketat; ia dapat melindungi filamen tungsten daripada terdedah kepada udara di dalam bilik bersih tersebut.
Memastikan suhu yang tepat
Suhu perlu seragam di seluruh permukaan wafer. Tidak boleh ada kawasan yang terlalu panas atau terlalu sejuk. Kami menggunakan lampu IR gelombang pendek agar haba dapat sampai ke permukaan wafer dengan cepat, bukannya hanya memanaskan dinding bilik tersebut. Selain itu, kerana kami menggunakan filamen berkualiti tinggi, lampu ini akan bertindak balas dengan cepat apabila pengawal PID mengubah arus elektriknya.
Perhatikan voltan
Berhati-hati dengan penurunan voltan. Jika lampu-lampu ini disambung secara bersiri, rintangan yang tinggi boleh menyebabkan sebahagian wafer menjadi lebih sejuk daripada sebahagian yang lain. Saya cadangkan gunakan sumber kuasa khusus. Ini adalah cara terbaik untuk memastikan kuasa yang digunakan tetap stabil untuk setiap lampu.
Realiti penggunaannya
Lampu-lampu ini direka untuk dipasang dengan mudah pada alat semikonduktor yang sedia ada. Namun, jangan lupa tentang sistem penyejukan. Lampu-lampu ini menghasilkan banyak haba dalam ruang yang kecil. Jika aliran udara tidak mencukupi, haba yang terhasil akan memberi tekanan yang berlebihan pada bahagian kuarsa tersebut. Ini akan menyebabkan lampu tersebut rosak dengan cepat. Pastikan sambungan lampu tersebut bersih, dan sistem vakumnya berfungsi dengan baik.