Di fasiliti pengeluaran, proses pengeringan lapisan pelindung solder bukanlah langkah yang berdiri sendiri. Ia merupakan proses pemanasan yang penting untuk memastikan integriti corak pada wafer kekal utuh selepas proses litografi. Jika parameter pemanasan tidak dikawal dengan baik, maka garis sempadan pada wafer akan menjadi kabur, dan proses pembaikan akan menjadi lebih rumit. Sistem ini direka untuk mengekalkan suhu pada tahap yang ditetapkan dalam prosedur pengeluaran, di seluruh permukaan wafer.
Yang penting adalah kawalan yang efektif sepanjang proses pengeluaran. Modul kami mampu mengekalkan ketepatan suhu sekitar ±0.1°C, menggunakan pengeluarkan tenaga jenis NIR yang dioptimasikan untuk penyampaian tenaga secara cepat tanpa sentuhan fizikal. Bilik pengeringan ini sesuai digunakan dalam lingkungan kelas kebersihan dari Class 1 hingga Class 100, dengan aliran udara yang terkawal dan tiada penghasilan zarah semasa proses pengeringan.
Ketekalan hasil pengeluaran dapat diukur: perbezaan suhu kurang dari 0.2°C untuk 1,000 wafer. Terdapat juga modul khas untuk proses pengeringan yang berbeza. Ini memastikan kawalan dimensi yang tepat sepanjang proses etching dan pengembangan.
Inilah sebabnya sistem ini berfungsi dengan baik: ia memastikan proses berjalan lancar. Proses pengeluaran boleh dilakukan 24/7 dengan masa henti yang minimum. Jangka hayat pengeluarkan tenaga adalah melebihi 5,000 jam, dan sistem kawalan akan memastikan segala parameter berada dalam batas yang ditetapkan setiap kali proses bermula. Penggunaan tenaga juga lebih rendah berbanding kaedah konvensional, dan masa proses pengeluaran dapat dipendekkan tanpa mengorbankan kualiti produk.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: Sistem ini memerlukan bekalan kuasa khusus sebanyak 208–240 V, serta saluran eksais yang efektif untuk mengeluarkan gas yang terhasil semasa proses pengeringan. Integrasi sistem ini mudah dilakukan pada platform pengeluaran biasa, tetapi ia tidak boleh dipasang pada oven lama tanpa reka bentuk mekanikal yang baru. Pastikan semua persiapan infrastruktur telah disediakan terlebih dahulu, agar proses pengeluaran dapat berjalan lancar.