Інфрачервоні нагрівачі, сумісні з умовами вакууму: справжній інструмент для передових ліній обробки підкристалічних пластин
Ми створили ці інфрачервоні нагрівачі, сумісні з умовами вакууму, з однієї причини – щоб вони могли функціонувати у складних умовах сучасної обробки напівпровідників. Крім того, вони забезпечують стабільне теплове випромінювання високої щільності, саме там, де це необхідно.
Ми протестували наші пристрої поруч із продуктами провідних міжнародних брендів, прямо на лініях обробки підкристалічних пластин. Цифри говорять самі за себе.
Давайте поговоримо про потужність, напругу та розміри
Ядром пристрою є кварцова трубка діаметром 300 мм. Її розміри дозволяють встановлювати її безпосередньо в стандартне обладнання, тож не потрібно змінювати всю конструкцію.
Напруга 400 В не є випадковим вибором – саме вона дозволяє передавати значну кількість електричного струму через компактну конструкцію, що забезпечує необхідну щільність потужності для швидкої термічної реакції.
Потужність 2500 Вт означає швидке нагрівання та стабільну температуру, навіть у умовах вакууму. Але є одна умова: система охолодження камери повинна бути достатньо потужною. Якщо теплообмінник не підібраний правильно, ви відчуєте зайве тепло в приміщенні.
Деталі конструкції: те, що має значення
Усередині трубки галогенний цикл забезпечує стабільність філаменту. Таким чином, філамент не перегоряє навіть після тисяч циклів нагрівання/охолодження.
Кварцова оболонка обрана саме через її високу пропускну здатність у короткохвильовому інфрачервоному діапазоні. Це дозволяє здійснювати пряме нагрівання без зайвих втрат енергії.
Захисний шар запобігає забрудненню та викиду газів у умовах вакууму, тож камера залишається чистою.
А щодо роз’єму R7s? Це просто розумний та практичний вибір. Він забезпечує надійне приєднання, правильний режим роботи та полегшує заміну лампи.
Що це означає для вашої лінії обробки підкристалічних пластин
На передових лініях обробки підкристалічних пластин нагрівач повинен забезпечувати точне та локалізоване нагрівання, не додаючи домішок та не спричиняючи збоїв у процесі обробки.
Наш інфрачервоний нагрівач, сумісний з умовами вакууму, саме це і робить. Він фокусує енергію саме там, де це необхідно, скорочує час виконання процесів та зменшує час, необхідний для технічного обслуговування.
Він створений для роботи у умовах чистих приміщень, де надійність є ключовим фактором.
Якщо хочете побачити, на що він здатний, ми можемо встановити наш нагрівач на вашу лінію. Нехай цифри самі все пояснять.