Snižování uhlíkových emisí při výrobě čipů pomocí infračerveného záření bez ozónu
Výroba polovodičů vyžaduje obrovské množství tepla a preciznosti. Ale buďme upřímní: způsob, jakým tradičně řešíme tyto tepelné procesy, je opravdu katastrofální z hlediska uhlíkových emisí. Snažíme se to napravit použitím infračervených lamp bez ozónu. Je to jednodušší způsob, jak přestat plýtvat energií a zbavit se nepříjemných vedlejších produktů, které obvykle vznikají při použití krátkovlnného záření.
Problém s ozónem
Problém spočívá v běžných krátkovlnných infračervených lampách – vytvářejí záření v rozsahu 185 nm až 254 nm, což v podstatě převádí kyslík ve vzduchu na ozón (O3). V čisté místnosti je ozón opravdu problémem – jedná se o kontaminant, který rozhodně nechceme.
Tento problém jsme vyřešili použitím dopovaných vláken nebo speciálních skleněných povlaků, které blokují toto VUV spektrum. Stále máte velmi vysokou hustotu tepla, ale bez nahromadění plynů. A protože nemusíte bojovat s ozónem, můžete se zbavit těch obrovských, energeticky náročných systémů na odvádění tepla. To je obrovská výhoda pro celkové náklady na energii vašeho zařízení.
Praxe v reálném světě
Tyto lampy jsou navrženy pro rychlost. Mluvíme o vysokém výkonu a rychlém nastupování teploty. Cílem je eliminovat „nadbytečné teplo“ – tu energii, která se plýtvá, když stroj prostě jen sedí a zahřívá se.
Místo toho, abychom zahřívali celou komoru jako obrovskou troubu, zaměřujeme teplo přímo na destičku. Je to mnohem chytřejší způsob využití elektřiny.
Kromě toho je hardwarové řešení navrženo tak, aby mohlo být použito místo stávajících zařízení. Můžete ho nahradit do vašich stávajících zařízení na zahřívání, aniž byste museli všechno demontovat. Používáme také posílené sklo, aby lampy nepraskly při rychlých změnách teploty.
Obtížné aspekty
Není to však samozřejmost. Existují určité kompromisy.
Když usilujete o extrémně rychlé zvyšování teploty, vaše zdroje napájení budou pod velkým náporem. Musíte se ujistit, že vaše elektrické panely dokážou zvládnout maximální průtok proudu, jinak budete mít problémy.
Vzdálenost je také důležitá. Pokud jsou lampy příliš blízko, vzniknou na destičce horká místa. Příliš daleko? Ztratíte efektivitu, která umožňuje snižování uhlíkových emisí. Také přidáváme ochranné prvky, aby se teplo zdrželo tam, kde má být, a neproniklo do karoserie stroje.