دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا استفاده از منعکسکنندههای طلایی واقعاً مهم است؟
بیایید صادق باشیم: در فرآیند تولید نیمههادیها، هدر دادن انرژی نه تنها غیرکارآمد است، بلکه یک نقص در طراحی محسوب میشود.
اکثر گرمکنهای معمولی در محدوده مادون قرمز، انرژی را به همه جهات پخش میکنند؛ بنابراین بخش زیادی از انرژی صرف گرم کردن بدنه دستگاه میشود، نه ویفر. ما فکر کردیم راه بهتری وجود دارد؛ با استفاده از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا، میتوانیم آن انرژی را دوباره به سمت ویفر هدایت کنیم.
منطق این روش ساده است:
اکثر گرمکنها انرژی را در ۳۶۰ درجه پخش میکنند؛ یعنی نیمی از انرژی از همان ابتدا به سمت اشتباهی میرود. ما از لایههای طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این لایهها بیش از ۹۸ درصد از امواج مادون قرمز را منعکس میکنند.
این روش نه تنها هزینه برق را کاهش میدهد، بلکه گرما را نیز متمرکز میکند؛ در نتیجه، تراکم گرما بر روی ویفر بسیار بالاتر میشود، بدون اینکه نیازی به افزایش جریان الکتریکی باشد. این روش، روشی تمیزتر و هوشمندانهتر برای انجام کار است.
اما مشکل اینجاست:
وقتی انرژی را به این شکل متمرکز میکنیم، الکترودهای لامپ بسیار داغ میشوند. اگر برای دستیابی به سرعت بالای گرم شدن، از مقدار بالایی انرژی استفاده کنید، پوسته کوارتز لامپ تحت فشار قرار خواهد گرفت.
نمیتوانید این موضوع را نادیده بگیرید؛ حتماً اطمینان حاصل کنید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این گرمای اضافی در انتهای لامپ باشد. در غیر این صورت، لامپ شما زودتر خراب خواهد شد.
کاربرد این روش در دنیای واقعی:
ما این منعکسکنندهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای موجود شوند؛ نیازی به بازطراحی کل سیستم ویفر نیست. ما از روش رسوباتزدایی تحت فشار خلأ برای ایجاد لایه طلا استفاده میکنیم؛ بنابراین لایه طلا یکنواخت خواهد بود و در هنگام چرخههای حرارتی، پوسته نخواهد شد.
تفاوت بزرگ را زمانی متوجه خواهید شد که نیاز به یکدست بودن دما در سراسر ویفر وجود داشته باشد؛ با تنظیم منحنی منعکسکننده طلا، میتوانیم آن نواحی سرد را از بین ببریم.
این روش، راهحلی مکانیکی برای مشکلات حرارتی است؛ دیگر نیازی نیست سعی کنید لامپهای خود را بیش از حد فشار دهید تا مشکلات ناشی از بازتاب ناکافی انرژی را برطرف کنید؛ کافی است مشکلات مربوط به سیستم منعکسکننده را برطرف کنید.