چرا استفاده از بازتابندههای مادون قرمز برای فرآیند خشکسازی بدون سرب ضروری است؟
دنیای نیمههادیها به شدت در تلاش است تا استانداردهای بدون سرب و کممصرف انرژی را پیاده کند. برای مدت طولانی، از فرهای حرارتی برای گرم کردن سطح ویفرها استفاده میشد؛ اما باید صادقانه بگوییم که گرم کردن هوای اطراف، هدررفت بزرگی از انرژی است.
به همین دلیل، ما به استفاده از روش خشکسازی با مادون قرمز روی آوردهایم. این روش، انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکند. اما مشکل اینجاست که نمیتوانید فقط یک لامپ را در آنجا قرار دهید و فرآیند را تمام کنید؛ بلکه به بازتابندههایی نیاز دارید که واقعاً برای این کار ساخته شده باشند.
جلوگیری از هدررفت انرژی
فکر کنید که یک لامپ مادون قرمز چگونه کار میکند؛ این لامپ، انرژی را در تمام جهات پخش میکند. بدون بازتابنده، نیمی از این انرژی صرف گرم کردن دیوارههای دستگاه میشود؛ که این کاملاً هدررفت انرژی است.
ما بازتابندههایی طراحی کردهایم که بتوانند این انرژی را جذب کرده و دوباره به سمت ویفر فرستند. این کار به ما اجازه میدهد تا بدون نیاز به استفاده از انرژی بیشتر، دمای لازم برای خشکسازی ویفرها را ایجاد کنیم. این روش سریعتر است؛ و وقتی که دمای لازم برای خشکسازی به سرعت به دست آید، زمان کل فرآیند نیز کاهش مییابد.
موادی که واقعاً مقاوم هستند
ما از پوششهای نامناسب استفاده نمیکنیم؛ برای حفظ تمیزی و رعایت استانداردهای زیستمحیطی، از سطوح آلومینیومی با خلوص بالا یا سطوح طلاکوب شده استفاده میکنیم.
این مواد میتوانند بار حرارتی ناشی از لامپهای مادون قرمز را تحمل کنند، بدون اینکه دچار تغییر شکل شوند. ما بر «بازتاب نور» تمرکز کردهایم؛ یعنی نور مانند آینه منعکس میشود. اگر نور پراکنده شود، نقاط گرم ایجاد میشود؛ و نقاط گرم باعث ترک خوردن ویفرها میشود. هیچکس چنین چیزی را نمیخواهد.
واقعیتهای کارخانه
این روش، روشی ساده برای رسیدن به استانداردهای بدون سرب نیست؛ زیرا نیاز به تعادل خاصی بین نقطه تمرکز نور و فاصله آن تا ویفر وجود دارد.
استفاده از روش خشکسازی مادون قرمز، به معنای حذف حلالهای شیمیایی و کاهش تأثیرات منفی بر محیط زیست است. این روش، سادهترین راه برای رسیدن به استانداردهای بدون سرب است، بدون اینکه مجبور باشیم در هر مرحله با تجهیزات مشکلاتی روبرو شویم.