CNT製造工程での清潔さの維持
もし、わずかなほこりが基板上に付着してしまうと、Carbon Nanotubeの製造は台無しになってしまいます。それが現実です。たとえクラス100のクリーンルームであっても、加熱要素自体が問題を引き起こすことがあります。一般的な加熱要素は、最も重要な時に粉々になったり、粒子が飛び散ったり、ガスが漏れ出したりすることがあります。
だからこそ、私たちは高純度の石英製のIRランプを使用しています。これらのランプは、何も汚れを生じさせることなく、しっかりと機能します。
石英が重要な理由
私たちがこのランプに使用しているのは、合成結晶シリカです。これは普通のガラスとは全く異なります。高温になっても、この素材は分解したり、奇妙な有機化合物を放出したりすることはありません。
石英製のケースは、タングステンフィラメントをしっかりと密閉します。そうすることで、金属酸化物が外部に漏れ出るのを防ぎ、製造工程を妨げることがありません。
適切な加熱の方法
CNTを成長させるには、正確な温度管理が不可欠です。単に強く加熱するだけでは不十分です。私たちのIRランプは短波放射を利用しており、基板周辺の空気を温めるのではなく、直接材料自体を加熱します。これにより、よりクリーンで効率的な加熱が可能になります。
必要な長さや出力に合わせて、このランプを作成することができます。高密度の熱により、迅速に所定の温度に到達できますが、注意点があります。PIDコントローラーをしっかり管理してください。温度が過剰に上昇すると、基板上の触媒層が破壊されてしまい、再び一から始めなければならなくなります。
実用性の高い設計
電気的な接続部が酸化しないように、特別なコネクタを使用しています。もし接続部が緩むと、ホットスポットが発生し、その結果、ランプが壊れてしまいます。
これらのランプの交換は簡単ですが、どうぞ、静電気防止の手袋を着用してください。指紋一枚でも、わずかな油分が残ります。それが石英に付着すると、局部的なホットスポットが発生し、最終的にはランプが壊れてしまいます。
ドロップイン式の交換方式を採用することで、停止時間を短縮し、ストレスも軽減できます。