真空チャンバー内の「オーブン効果」を防ぐ方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題の深刻さはよくわかるでしょう。ウエハを加熱する必要がありますが、真空チャンバー全体をオーブンのようにしてしまってはいけません。 通常の加熱方法では、熱があらゆる方向に広がります。真空状態では、そのエネルギ...

真空対応型赤外線ヒーター：ハイエンドウェーハ製造ラインで実際に活躍する製品 私たちがこの真空対応型赤外線ヒーターを開発したのは、先端半導体製造という過酷な環境でも安定して機能するためです。また、均一で高密度な熱を、正確に必要な場所に供給することも目的です。 実際のウェーハ製造ライン上で、当社の製品...