真空チャンバー用赤外線ヒーター

真空チャンバー内の「オーブン効果」を防ぐ方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、この問題の深刻さはよくわかるでしょう。ウエハを加熱する必要がありますが、真空チャンバー全体をオーブンのようにしてしまってはいけません。 通常の加熱方法では、熱があらゆる方向に広がります。真空状態では、そのエネルギ...