カーボンファイバー製のランプを安全に保つために（そして、機器も壊れないようにするために） カーボンファイバー製の赤外線ランプは、非常に高い温度にさらされるだけでなく、特有の電圧条件も必要とします。このような製品を作る際には、発熱体の寿命だけを気にするわけではありません。実際の危険性というのは、絶縁...

揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーティングを使用する際の安全対策 半導体工場を運営している方なら、この問題はよくわかるでしょう。赤外線ランプが、率直に言って熱を嫌う化学洗浄剤のすぐそばで動作しています。そのような場所でランプをそのまま使うのは、問題を招くだけです。 これを解決するために、ランプを特殊...

加熱装置と戦うのはやめよう：スマートファブを構築するためのより良い方法 インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しようとしているなら、古い加熱方法に頼るのはやめるべきです。私はよく、エンジニアたちがこれまで通りのやり方を続けているのを見かけます。しかし、そのような加熱装置は効率が悪く、大量の...

燃え尽きたランプが生産性を台無しにするのを防ごう 高負荷の製造環境では、ランプが燃え尽きるというのは単なる厄介事にとどまりません。それはまさに悪夢です。 シリコンウェーハの上で石英管が破裂したと想像してみてください。至る所にガラスの破片や化学物質が散らばります。これが即座の二次的汚染です。これによ...

機械を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 乾燥室の側面に触れると、皮膚が焼けつくような感覚がありますよね？それが「熱の過剰な蓄積」です。 これは、ほとんどの製造用乾燥装置が熱をあちこちに放出しているためです。エネルギーがチャンバー内に送り込まれると、その熱は行き場を失い、内壁や筐体...

なぜ、私たちはお客様の工場で使用されるすべてのランプを検査するのか 半導体工場では、わずかな電気的放電だけで、大量のウェーハがダメになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。そのため、こちらでは「バッチサンプリング」は行いません。適当にいくつかのランプを検査して、うまくいくことを期待するので...

製造現場において、フォトレジストの焼成工程は省略できないものです。ソフトベイクやハードベイク時の温度の変動が0.5℃でも、ウェーハの寸法精度に影響を与えてしまいます。また、ランプが故障すると、生産ラインが停止してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、24時間365日、停止することな...