機械を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。
乾燥室の側面に触れると、皮膚が焼けつくような感覚がありますよね？それが「熱の過剰な蓄積」です。
これは、ほとんどの製造用乾燥装置が熱をあちこちに放出しているためです。エネルギーがチャンバー内に送り込まれると、その熱は行き場を失い、内壁や筐体がスポンジのようにその熱を吸収してしまいます。これはエネルギーの無駄遣いであり、また、その装置の周りで作業する人々にとっては安全上の問題でもあります。
私たちは、より良い方法を考え出しました。それが指向性赤外線加熱です。
鍵は、エネルギーがどこに向かうかです。
部屋中の空気を加熱しようとする代わりに、指向性赤外線ランプは電磁波を使って直接基板に熱を与えます。まるで懐中電灯のようなものです。反射板や特定の波長を利用することで、熱を正確にウェーハに伝えることができます。
その結果、部品に必要な熱が得られる一方で、筐体の壁は触っても冷たいままです。
安全性とコンパクトさの両立
最も強力なランプを使えばいいというわけではありません。出力密度と冷却システムのバランスを取る必要があります。高出力のランプは素早く温度を上げることができますが、電源に大きな負担をかけます。
私たちは「熱の集中される領域」を狭く保ちます。熱が集中しているため、壁に厚い断熱層を設ける必要がなくなります。つまり、機械が取るスペースが少なくなります。
注意点
これは魔法の杖ではありません。指向性加熱は繊細な操作が必要です。
ランプの位置が数ミリメートルだけずれていると、ウェーハ全体の乾燥が不均一になります。これは非常に厄介です。この方式を効果的に使うためには、取り付けブラケットがしっかりしていて、高温になっても変形しない必要があります。
また、閉ループPIDコントローラーの使用をお勧めします。これにより、温度が安定し、初期加熱時に温度が急上昇するのを防ぐことができます。
鋼板や空気を加熱するためのエネルギーの無駄遣いをやめれば、すべてが改善されます。電気代も削減され、作業員も高温の機械から守られます。