化学洗浄後にMEMSセンサーワークを乾燥させる際には、熱が必要です。しかも、できるだけ早く熱を与える必要があります。しかし、問題点もあります。可燃性や爆発性のある蒸気が存在する場合、通常の赤外線ランプは単なるツールとしてではなく、危険な存在となります。 誰も実験室で火事が起きることを望みません。そ...

工具の内壁を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 半導体ウェーハを適切な温度に保つのは、非常に精密な作業です。しかし、通常の赤外線ランプを使用している場合、実際には無駄な労力がかかっています。そのようなランプはあらゆる方向に熱を放出するため、エネルギーの大部分が工具の内壁を温めるだけ...

水素センサーを作る際に最も重要なのは、適切な温度管理です。もし温度管理がうまくいかなければ、化学的安定性が失われ、正確性もなくなってしまいます。私たちは、過酷な環境下でも機能し続けるような加熱装置を開発していますが、正直言って、温度制御自体が最も難しい部分ではありません。本当に大変なのは、電気的絶...

ウェーハを常に清潔に保つために：IR加熱の真実 クラス100のクリーンルームで作業している場合、その苦労はご存知でしょう。わずかなほこりや微細な破片、あるいは部品から漏れ出すガスがあるだけで、全体の製品が台無しになってしまいます。 シリコンウェーハを加熱する際には、普通のランプを使ってはいけません...

センサーパッケージングにおける「ホットウォール」問題の解決法 スマートセンサーのパッケージング作業を経験したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。部品を適切な温度にするのは簡単です。しかし、本当の問題は、装置全体がオーブンのようになってしまうのを防ぐことです。 一般的な赤外線ランプは、熱...