なぜ、私たちはすべての加熱管をテストするのか（そして、なぜあなたも気にすべきか） 産業用加熱装置における真実は、わずかなミスが大惨事を引き起こす可能性があるということです。 例えば、石英素材に微細な穴が開いていたり、セラミックに目に見えないほどのひび割れがあったりするのです。高出力の装置では、その...

ウェハーの乾燥とは、単に温度を上げるだけではありません。重要なのは、絶対的で安定した温度コントロールです。わずかな温度の変動があれば、ウェハーが汚染されたり、応力が生じたりします。そのため、当社のハロゲンヒーターは、0.1℃という高精度な安定性を実現するように設計されています。大量生産を行う際には...

ライン上での状況 ソフトベイクのドリフトが±0.5℃で、レジストにライン幅の誤差が直接印刷されるという状況はご存知の通りです。オーブンは遅すぎ、ホットプレートはスペースを占有し、熱予算はすでに確保されています。そこで、私たちはそのドリフトを元から抑制するIC用のコンパクトな赤外線ドライヤーを開発し...

工場の現場では状況がよく分かっています。フォトレジストのベーク時に0.5℃のドリフトがあれば、クリティカルディメンション（CD）がずれ始め、生産ラインは停止します。薄膜太陽電池用ドライヤーランプはまさにその現実に対応するために設計されました。ウェハーレベルでの熱制御により、工程を規格内に保ち、シフ...