ゴールドコーティングされたIRランプの破損を防ぐ方法 半導体業界において、ゴールドコーティングされた赤外線ランプは非常に重要な役割を果たしています。これらのランプは、わずかな温度上昇でも許されないような過酷な環境で使用されます。そのゴールドコーティングがあるのは、熱をウェハーに効率的に伝え、筐体が...

機械の壁面を加熱するのをやめましょう ほとんどの加熱素子は、熱をあちこちに放出してしまいます。半導体製造装置を作る際には、これは大きな問題です。結果として、筐体が無駄なエネルギーを吸収してしまい、「熱い壁面」ができてしまいます。 これは二重の悪影響をもたらします。電力が無駄に消費されるだけでなく、...

クリーンルーム内のカートを安全に保つために（そして、チームの安全も確保するために） 正直言って、半導体製造工場は非常に過酷な環境です。可燃性の溶剤や不安定な化学物質を扱う以上、火花が発生することは絶対に避けたいものです。 もし、輸送用カートにIRヒーターを使用しているなら、そのリスクはよく理解して...

なぜ半導体の乾燥に赤外線硬化を採用したのか 半導体製造において無鉛化を実現するのは、単にはんだを交換するだけでは簡単ではありません。実際には、熱をどのように扱うかを再考する必要があります。 長い間、多くの場合、対流式オーブンが使われてきました。しかし問題点は、わずかな部品を乾燥させるために、巨大な...

なぜウェーハ処理に金コーティングされた反射板を使用するのか？ 正直に言って、半導体製造装置でエネルギーを無駄にするのは、悪い設計です。ヒーターを動かすと、その赤外線エネルギーの多くがただ跳ね返ったり、装置の内部に漏れ出したりしてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。だからこそ、反射面に金コーティ...

リソグラフィ工程の現場では誰もが知っていることです。ベーク温度の0.1℃の変動がフォトレジストのプロファイルをナノメートル単位でずらし、そのずれは歩留まりシートに反映されます。私たちは、プロセスウィンドウが一桁ナノメートルで測定される条件下でも熱ラインを維持できる半導体レーザーダイオードヒーターを...

ファブフロアにおいて、スパッタリングチャンバーの熱プロファイルは一度設定して終わりというものではありません。これはリアルタイムで膜厚分布、応力、歩留まりに影響を与えます。0.5℃の変動が堆積速度を変化させ、デバイスの仕様外れを引き起こすことがあります。 この現実を踏まえて、当社の半導体スパッタリン...