薄膜太陽電池乾燥ランプ

工場の現場では状況がよく分かっています。フォトレジストのベーク時に0.5℃のドリフトがあれば、クリティカルディメンション（CD）がずれ始め、生産ラインは停止します。薄膜太陽電池用ドライヤーランプはまさにその現実に対応するために設計されました。ウェハーレベルでの熱制御により、工程を規格内に保ち、シフ...