휘발성 화학물질이 있는 곳에서 적외선 가열기를 사용할 때 안전을 유지하는 방법
반도체 공장을 운영하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 적외선 램프는 화학적 세척제와 같은 곳 근처에서 사용됩니다. 솔직히 말해, 그런 화학물질들은 열을 싫어합니다. 그러한 곳에서 그냥 램프를 사용하는 것은 문제를 초래할 뿐입니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 램프를 특수한 석영 유리 보호막으로 감싸줍니다. 이 보호막은 마치 물리적인 벽과 같아서 열과 화학물질이 서로 접촉하지 못하도록 해줍니다.
왜 석영인가?
고순도의 융합 석영을 사용하는 이유는 간단합니다. 열이 가해져도 석영은 변형되지 않습니다. 반면, 일반 유리는 램프가 달궈지는 순간 바로 깨져버립니다.
석영 보호막은 램프의 전기 접점과 필라멘트를 보호해줍니다. 무엇보다도 중요한 것은, 화학물질이 누출될 경우 그러한 휘발성 가스들이 램프의 가장 뜨거운 부분에 닿지 못하도록 막아준다는 점입니다. 이는 단순히 하드웨어를 보호하는 것뿐만 아니라, 전체 공장이 파괴되는 것을 막는 데에도 도움이 됩니다.
단점
물론 완벽한 것은 없습니다. 석영은 단파 적외선을 거의 그대로 통과시켜주므로 좋습니다. 열은 웨이퍼나 기판에 정확하게 전달되고, 보호막 자체가 오븐이 되는 일은 없습니다. 하지만 효율성이 약간 떨어질 수 있습니다. 약간의 열이 유리 벽에 의해 가두어지기 때문입니다. 하지만 이건 큰 문제가 되지는 않습니다. 보통는 전력을 조절하거나 초점 거리를 조정함으로써 목표 온도를 유지할 수 있습니다.
설치 방법
우리는 이러한 보호막을 기존 공장 장비에 그대로 설치할 수 있도록 설계했습니다. 전체 장비를 다시 만들 필요는 없습니다. 하지만 사람들이 종종 실수하는 부분이 있습니다. 바로 밀폐성입니다. 석영 튜브의 양쪽 끝은 반드시 밀폐되어야 합니다. 만약 열循环 과정에서 밀폐성이 떨어지면, 보호막은 아무런 소용이 없습니다. 우리는 특수한 가스켓을 사용하여 누출을 막지만, 여전히 주의를 기울여야 합니다. 정기적인 점검을 철저히 하는 것이 중요합니다. 가스켓을 점검하는 것이 예상치 못한 가동 중단을 처리하는 것보다 훨씬 저렴합니다.