포토레지스트용 최고의 적외선 램프
리소그래피 공정에서는 온도가 단 0.5도만 벗어나도 포토레지스트의 특성이 변질됩니다. 선 폭 제어, 접착력, 결함 밀도 등 모든 것은 정밀한 온도 관리에 달려 있습니다. 우리는 이러한 요구사항을 충족시키기 위해 적외선 램프를 특별히 설계했습니다.
기술적으로는 간단합니...
진동형 히터
반사판에 묻은 먼지나 히터 표면의 오염물들은 단순히 외관상의 문제가 아닙니다. 이러한 오염물들은 에너지 사용량을 증가시킵니다. 진동하는 적외선 히터는 사람이나 물체에 직접 열을 방출하여 따뜻함을 제공하지만, 표면에 묻은 오염물들이 열을 퍼뜨리는 것을 방해하여 편안한...
장식용 전기 히터
밤이 되어 날씨가 쌀쌀해질 때, 편안함과 스타일 사이에서 선택할 필요는 없습니다. 장식적인 형태의 전기 히터는 사용자가 있는 곳에 즉시 따뜻한 열을 공급해주므로, 대화를 이어가고 손님들이 편안하게 지낼 수 있습니다. 게다가 산업용 히터처럼 보기 흉한 모습도 아닙니다....
USB 전기 히터
저녁이 되면, 따뜻함을 유지하면서도 공간을 깨끗하게 유지해야 하는 상황에 처하게 됩니다. 이 USB 전동 적외선 히터는 필요한 곳에만 따뜻한 열을 공급해주므로, 공간을 어지럽히지 않습니다. 이 제품은 추가적인 장치가 아닌, 가구의 일부로서 공간에 자연스럽게 어우러집니...
웨이퍼 처리에 사용되는 적외선 램프 소켓
웨이퍼 처리 과정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 시 약 반도의 온도 변화만 있어도 치명적인 문제가 발생할 수 있습니다. 에칭 과정 후에는 이물질이 남을 수 있으며, 생산 효율도 떨어집니다. 저희는 웨이퍼 처리 장비용 적외선 램프 소켓을 설계할 때, 반복적인 처리...
웨이퍼용 광학 코팅
생산 라인에서는 300mm 웨이퍼에 수천 개의 칩들이 있으며, 이 칩들은 모두 온도 변화에 매우 민감합니다. 리소그래피 장비 내부에서는 소프트 베이크와 하드 베이크 과정을 통해 치수 정확도를 유지합니다. 만약 적외선 소스가 일정한 온도를 유지하지 못한다면, 선의 굵기...
전기 바닥 난방
새벽에 차가운 바닥 위를 걸어보면 곧바로 그 차가움을 느낄 수 있습니다. 공기가 너무 무거워서, 방 안의 온도보다 훨씬 낮은 것 같습니다. 일반적인 히터의 경우, 공기가 따뜻해지기를 기다려야 하며, 발은 여전히 차가운 상태입니다. 반면, 적외선 히터는 복사열을 직접...
포토레지스트 경화용 적외선 램프
리소그래피 공정에서는, 아시다시피, 약간의 온도 변화라도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 단 half degree만큼의 온도 변동이 있어도, 치수는 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 이런 경우 즉시 문제가 발생합니다. 웨이퍼 표면에 이상 현상이 생기고, 결국...
IR 램프용 석영 슬리브
팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 절대로 생략될 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 제품의 치수 정밀도에 악영향을 미칠 수 있으며, 한 개의 램프가 고장 나면 전체 생산 공정이 중단됩니다. 우리는 바로 이러한...
온실용 전기 히터
겨울 아침에 시립 작업장이나 공공 서비스 센터에 들어가면, 추위를 느끼기도 전에 예산 압박감을 느낄 수 있습니다. 이러한 공간들은 단열보다는 실용성을 위해 만들어졌으며, 난방 비용도 상당히 많이 듭니다. 주요 난방 시스템이 제대로 작동하지 않으면 생산성이 떨어지고,...
극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들
EUV 리소그래피 공정에서, 리지스트를 가열하는 과정은 단순히 열처리 단계에 불과한 것이 아닙니다. 이 과정에서 선폭 제어와 결함 발생 가능성도 결정됩니다. 몇 십 분의 일 도의 온도 변동이나 미세한 입자의 존재만으로도 CD의 균일성이 깨질 수 있으며, 그 결과 많은...
웨이퍼용 맞춤형 적외선 히터
팹에서는 소프트 베이크 과정에서 1°C의 온도 변동만으로도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 이러한 위험을 줄이기 위해 저희는 특수한 적외선 히터를 개발했습니다. 이 히터들을 사용하면 웨이퍼 건조, 포토레지스트 베이킹, 패키징 과정, 그리고 클린업 후 건조 과정에서...
고출력 전기 히터
만약 계절성 알레르기나 민감한 기도 문제가 겨울철에 발생한다면, 그에 따른 단점들을 잘 알고 있을 것입니다. 따뜻함은 원하지만, 건조함이나 공기 순환 시스템으로 인해 생기는 먼지, 그리고 그로 인한 목의 건조함은 원하지 않습니다. 해결책은 단순히 더 많은 열을 공급하...
타이머식 전기 히터
난방용 히터들은 엉망인 상태입니다. 곳곳에 히터들이 있지만, 실제로 제대로 작동하는 것은 극소수에 불과합니다. 워크숍이나 실내 공간, 혹은 붐비는 상업 공간에서 일정한 온도를 유지해야 한다면, 저가형 히터는 결코 좋은 선택이 아닙니다. 그건 필요 없는 골칫거리일 뿐입...
유연 전자소자 웨이퍼 히터
열 관리가 제대로 이루어지지 않으면, 유연한 기판과 박막층들은 매우 민감하게 반응합니다. 조금이라도 온도에 변동이 생기면, 중요한 치수들도 변하게 됩니다. 고온으로 가열하면, 겨우 유지해놓았던 포토레지스트의 형태가 무너지기 시작합니다. 불균일한 온도 분포는 청소나 건...