IR 램프가 웨이퍼를 망가뜨리는 것을 막으세요.
대량 생산 환경에서 IR 램프가 고장 나면 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다.
쿼츠 튜브가 파손되면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 하나의 고장 난 램프만으로도 몇 초 만에 전체 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 우리는 이러한 상황을 방지하기 위해 많은 노력을 기울였으며, 주로 램프의 형태와 위치를 고려했습니다.
“이상적인 간격”
램프를 그냥 웨이퍼 바로 옆에 두어서는 안 됩니다. 약간의 공간이 필요합니다.
우리는 공급되는 전력과 온도에 따라 적절한 안전 거리를 권장합니다. 왜냐하면 물체는 열을 받으면 변형되기 때문입니다. 만약 튜브가 극심한 열로 인해 변형된다면, 그 간격 덕분에 튜브가 웨이퍼에 닿지 않습니다.
물론, 더 많은 열을 얻기 위해 그 간격을 줄일 수도 있지만, 그건 위험한 일입니다. 조금만 변형되어도 심각한 손상이 발생할 수 있습니다. 반드시 램프를 안정적으로 고정시켜야 합니다.
청결을 유지하기
우리는 가스 방출을 최소화하기 위해 고순도의 합성 쿼츠를 사용합니다. 또한 램프와 웨이퍼 사이에 보호용 쿼츠 장치를 추가하는 것도 좋은 방법입니다.
이를 마치 경호원처럼 생각할 수 있습니다. 램프가 고장나면 이 보호 장치가 파편들을 막아주어 웨이퍼가 손상되는 것을 방지합니다.
또한 전극 부분의 밀폐성도 중요합니다. 할로겐 가스가 새어나오는 것을 막아야 합니다. 24시간 내내 작동시킨다면, 연결부의 볼트가 제대로 조여져 있는지 반드시 확인해야 합니다. 연결부가 느슨하면 아크가 발생하여 램프가 더 빨리 고장날 수 있습니다.
전력과 안정성의 균형
고출력 램프는 빠른 작동 속도를 제공하지만, 더 많은 전력은 내부 압력을 증가시킵니다.
이는 균형을 맞춰야 하는 문제입니다. 열 밀도와 챔버의 냉각 능력을 고려해야 합니다. 만약 냉각 시스템이 램프의 열을 제대로 처리하지 못한다면, 쿼츠가 스트레스를 받아 결국 깨질 수 있습니다.
우리는 전력과 거리 사이의 관계를 보여주는 차트를 만들었습니다. 이 차트를 통해 필요한 열을 얻으면서도 램프가 고장나는 것을 방지할 수 있습니다.