在用化学试剂清洗完MEMS传感器晶圆后，需要对其进行干燥处理，而这需要热量——而且必须尽快提供热量。不过，这里有个问题：如果周围存在易燃或易爆的蒸汽，那么普通的红外灯就不仅仅是一种工具而已，它还可能带来风险。 没人希望实验室里发生火灾。因此，我们采用了特殊的封装技术，将加热元件置于一个安全的区域内...

停止加热工具的内壁，转而加热晶圆本身 让半导体晶圆达到合适的温度其实是一项需要精确控制的操作。但如果使用普通的红外灯的话，那基本上就是在浪费能量——因为这些灯会将热量向各个方向散发，这样一来，大量能量就被用来加热工具的内壁而已。 这无疑是一种能源的浪费。更糟糕的是，这样的设计还会使设备的外壳变成一...

制造氢气传感器时，最关键的是要精确控制温度。如果温度控制不当，不仅化学稳定性会受到影响，传感器的准确性也会大打折扣。我们设计的加热器能够承受极端环境下的考验，但说实话，温度控制并非最难的部分。真正的难题在于电气绝缘问题。 为何要对每个传感器进行测试 在如此高精度的工作中，哪怕有微小的电流泄漏，都可...

如何保持晶圆洁净无瑕：关于红外加热的真相 如果您在操作100级洁净室，那么您一定知道其中的麻烦。哪怕只有一小片灰尘或微小的颗粒进入晶圆表面，或者有气体从组件中泄漏出来，整个批次的产品就会报废。 在加热硅晶圆时，绝不能用普通的灯源。因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。只有这样，才能确...

解决传感器封装中的“过热问题” 如果你曾经从事过智能传感器的封装工作，那么你一定知道其中存在的难题。让部件达到所需温度其实并不难，但真正棘手的问题是：如何避免整个设备变成一个“烤箱”。 大多数普通的红外灯会将热量向四周散发——相当于360度全方位加热。在空间有限的情况下，这些多余的能源会直接作用于...